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煙臺(tái)云帆過(guò)濾系統(tǒng)有限公司
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系統(tǒng)用于硅晶片多線切割機(jī)的切削液過(guò)濾與冷卻，過(guò)濾的雜質(zhì)顆粒的直徑一般在10～20微米之間。切削液流量不小于200L/min。切削液冷卻后的溫度為20℃±2℃。系統(tǒng)出水口處揚(yáng)程大于10米。zui小可過(guò)濾直徑10微米的固體顆粒。每班工作時(shí)間按連續(xù)4小時(shí)計(jì)算，每小時(shí)產(chǎn)生約3公斤雜質(zhì)，體積約1.5L。過(guò)濾系統(tǒng)無(wú)易損件，清洗、維護(hù)方便。系統(tǒng)水箱容積大于500L，分為回流切削液區(qū)和供液凈化存儲(chǔ)區(qū)，做重度防腐處理。回流口不銹鋼過(guò)濾網(wǎng)尺寸應(yīng)保證zui高流量200L/min的切削液順利通過(guò)，應(yīng)拆卸方便、易于清洗。回流口濾網(wǎng)上方有蓋板，蓋板上有回流口.回流口蓋板、濾網(wǎng)依次取下后，可進(jìn)行回流箱的手動(dòng)清洗工作，供液箱也應(yīng)具備此類蓋板，方便清洗、維護(hù)。回流箱上安裝有攪拌電機(jī)，攪拌電機(jī)不受切削液系統(tǒng)總啟動(dòng)、停止開(kāi)關(guān)控制，而由專門的啟動(dòng)、停止按鈕控制，可以在切削液提升泵停止工作后單獨(dú)運(yùn)行，防止回流箱硅粉沉積。回流箱安裝有液位計(jì)，當(dāng)液位低于警戒值時(shí)，可自動(dòng)控制一級(jí)過(guò)濾提升泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)，防止水泵吸入空氣。回流箱上有一個(gè)溢流回流口，用以接納因管路內(nèi)流量、壓力等變化而從切割設(shè)備溢流管路流回的切削液。采用1英寸自鎖型快速接頭。煙臺(tái)云帆過(guò)濾系統(tǒng)有限公司提供的整套過(guò)濾系統(tǒng)采用4級(jí)過(guò)濾方式，一級(jí)粗過(guò)濾采用100～150目不銹鋼濾網(wǎng)，用來(lái)過(guò)濾在切割過(guò)程中產(chǎn)生的尺寸稍大的硅碎片，二級(jí)過(guò)濾采用精度80微米反沖洗不銹鋼滾筒過(guò)濾，三級(jí)采用渦旋分離器過(guò)濾精度15-20微米，四級(jí)采用雙聯(lián)精密過(guò)濾器做精密處理，過(guò)濾精度5-10微米。具備液位、溫度、流量自動(dòng)監(jiān)控及報(bào)警功能。采用工業(yè)用內(nèi)置式油冷卻機(jī)作為冷卻裝置，對(duì)凈化存儲(chǔ)區(qū)的切削液進(jìn)行溫度控制。制冷機(jī)制冷量30000瓦。外部供電電壓為三相380V。在系統(tǒng)出水口配置切削液溫度、流量監(jiān)測(cè)裝置，并預(yù)留流量監(jiān)測(cè)器與切割機(jī)主機(jī)控制系統(tǒng)相連的端口。
