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RBZ-SG系列精密Z軸

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產(chǎn)品型號

品牌AUSPRECISION

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

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更新時間：2024-04-28 11:35:34瀏覽次數(shù)：370次

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產(chǎn)品分類 品牌分類

  AUSPRECISION

北京瑞邦精控科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)	應(yīng)用范圍	打磨,銑削,清洗,拋光/去毛刺,服務(wù)型,其他應(yīng)用

RBZ-SG系列精密Z軸
產(chǎn)品特點
垂直平升行程可達(dá)50mm，整體尺寸結(jié)構(gòu)緊湊，速度可達(dá)20mm/s，負(fù)載60kg
高精度交叉滾柱導(dǎo)軌，無槽無刷力矩電機(jī)，低膨脹系數(shù)光柵有助實現(xiàn)納米級微動步距高可靠性驅(qū)動機(jī)構(gòu)，使用壽命長

詳細(xì)介紹

1-8-1，

4-566，

8-70-2。

RBZ-SG系列精密Z軸應(yīng)用領(lǐng)域

RBZ-SG系列是一款長行程的精密平升Z軸，具有納米級微動步距，高動態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，用于晶圓加工及檢測、飛秒激光加工、測試測量、生物工程等高精度行業(yè)。

RBZ-SG系列精密Z軸結(jié)構(gòu)特點

直驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力大，在一個長行程的移動范圍，保持盡可能低的高度，優(yōu)化阿貝誤差影響，有助于提高整體精度性能。抗蠕變交叉滾柱導(dǎo)軌垂直導(dǎo)向，為提升直線度、Pitch Roll Yaw指標(biāo)提供創(chuàng)新解決方案。

直驅(qū)結(jié)構(gòu)

力矩電機(jī)作為直驅(qū)方式，沒有皮帶、齒輪、蝸輪蝸桿和彈性聯(lián)軸器中間傳動環(huán)節(jié)，RBZ-SG平升Z軸直接托舉負(fù)載運動，相對側(cè)升結(jié)構(gòu)Z軸，無需轉(zhuǎn)接板，負(fù)載重心布置在Z軸中心，有利于運行過程減小俯仰和偏擺的影響。

光柵閉環(huán)反饋

RBZ-SG平升Z軸為雙閉環(huán)反饋，直線光柵和圓光柵相結(jié)合的雙反饋方式，直接測量工件移動時的誤差，提高了精度性能。

規(guī)格指標(biāo)

型號		單位	RBZ-20SG	RBZ-35SG	RBZ-50SG
行程		mm	20	35	50
補(bǔ)償后定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1	±0.15	±0.15
補(bǔ)償后定位精度	標(biāo)準(zhǔn)值	μm	±1	±1	±1
雙向重復(fù)定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05	±0.075	±0.075
雙向重復(fù)定位精度	標(biāo)準(zhǔn)值	μm	±0.5	±0.5	±0.5
直線度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.5	±0.5	±0.75
直線度 ⁽²⁾	標(biāo)準(zhǔn)值	μm	±3	±4	±5
Pitch Roll ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±2.5	±2.5	±3.5
Pitch Roll ⁽²⁾	標(biāo)準(zhǔn)值	arc sec	±5	±5	±7
Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±2	±2	±3
Yaw ⁽²⁾	標(biāo)準(zhǔn)值	arc sec	±5	±5	±7
電子分辨率 ⁽³⁾		nm	0.3 或 5（選配）
速度 (空載) ⁽⁴⁾		mm/s	10	10	20
負(fù)載		kg	20	40	60

注：

以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-E，測試點在負(fù)載板上25mm處，測試速度5mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測試與負(fù)載尺寸及測試點高度有關(guān)，環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試，請咨詢我們。