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QFL-XY系列雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)

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更新時(shí)間：2024-04-28 11:39:24瀏覽次數(shù)：374次

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北京瑞邦精控科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	應(yīng)用范圍	打磨,銑削,清洗,拋光/去毛刺,服務(wù)型,其他應(yīng)用

王欣悅1-8-1；
4-5-6-6；
8702。
QFL-XY系列雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)
產(chǎn)品特點(diǎn)
開式氣浮疊層結(jié)構(gòu) 結(jié)構(gòu)緊湊、精度高
重復(fù)定位精度±50nm 直線度±0.1μm，平面度±0.15μm

詳細(xì)介紹

QFL-XY系列雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)應(yīng)用領(lǐng)域

QFL-XY系列是一款結(jié)構(gòu)緊湊的雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，用于飛秒激光加工，超精密加工、測(cè)試測(cè)量、高精度掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)，由于非接觸式運(yùn)動(dòng)，精度高和結(jié)構(gòu)緊湊是行業(yè)內(nèi)的理想選擇。

QFL-XY系列雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)采用開式氣浮導(dǎo)軌，直線電機(jī)和光柵尺組成，永磁預(yù)載結(jié)構(gòu)，XY軸疊層具有體積小，精度高、工作點(diǎn)低等特點(diǎn)，能有效降低阿貝誤差。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩(wěn)定。非接觸式氣浮結(jié)構(gòu)，免維護(hù)運(yùn)行，隨著時(shí)間推移，不會(huì)出現(xiàn)磨損或性能下降。

精度性能

QFL-XY軸雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，以上為全行程精度指標(biāo)，由于非接觸式運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，精度性能得到顯著提高。

線纜管理

使用高質(zhì)量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產(chǎn)生的擾動(dòng)力影響可忽略不計(jì)，運(yùn)動(dòng)中線纜和氣管不影響氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的性能。此外，可提供帶屏蔽高柔線纜，提供系統(tǒng)抗干擾能力。

定制化

根據(jù)應(yīng)用，結(jié)構(gòu)可定制化設(shè)計(jì)，如增加平升或楔形Z軸，轉(zhuǎn)臺(tái)等。可配置大理石基座、立柱及橫梁，XY軸安裝到大理石基座上，Z軸安裝橋架上。可選配主動(dòng)隔振系統(tǒng)，適合高抖動(dòng)的應(yīng)用領(lǐng)域。

規(guī)格指標(biāo)

型號(hào)		單位	QFL-50XY		QFL-100XY		QFL-150XY
軸系		—	X	Y	X	Y	X	Y
行程		mm	50	50	100	100	150	150
補(bǔ)償后定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1		±0.1		±0.1
	標(biāo)準(zhǔn)值		±0.2		±0.2		±0.2
雙向重復(fù)定位精度	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05		±0.05		±0.05
	標(biāo)準(zhǔn)值		±0.1		±0.1		±0.1
直線度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.05		±0.05		±0.1
	標(biāo)準(zhǔn)值		±0.25		±0.25		±0.4
平面度 ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	μm	±0.1		±0.1		±0.15
	標(biāo)準(zhǔn)值		±0.35		±0.4		±0.5
Pitch Roll Yaw ⁽²⁾	Plus ⁽¹⁾	arc sec	±0.35		±0.4		±0.5
	標(biāo)準(zhǔn)值		±1		±1		±1.5
正交性	Plus ⁽¹⁾	arc sec	5		2		2
	標(biāo)準(zhǔn)值		10		5		5
電子分辨率 ⁽³⁾		nm	0.3 或 5（選配）
速度 (空載) ⁽⁴⁾		mm/s	200
加速度 (空載) ⁽⁴⁾		m/s2	1,（5 定制）
負(fù)載		kg	10
供氣壓力 ⁽⁵⁾		MPa	0.5±0.05

注：

以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。