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信良志機(jī)械(武漢)有限公司
中級(jí)會(huì)員·3年
SU-001晶體方位檢測(cè)系統(tǒng)
| 參考價(jià): | 面議 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- SU-001 產(chǎn)品型號(hào)
- 東芝/Toshiba 品牌
- 代理商 廠商性質(zhì)
- 武漢市 所在地
訪問(wèn)次數(shù)：477更新時(shí)間：2024-02-20 10:39:36
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- 聯(lián)系人：
- 汪先生
- 電話：
- 手機(jī)：
- 15202762882
- 地址：
- 湖北省武漢市洪山區(qū)
- 個(gè)性化：
- www.nobuyoshi1.com
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 類(lèi)型 | 其他X射線儀器 |
|---|---|---|---|
| 售后保修期 | 12個(gè)月 | 銷(xiāo)售區(qū)域 | 全國(guó) |
產(chǎn)品介紹
晶體方位檢測(cè)系統(tǒng)的特點(diǎn)：
1.實(shí)現(xiàn)角度測(cè)量的高精度化
根據(jù)獨(dú)自的測(cè)角系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高再現(xiàn)性和線性。
2.長(zhǎng)期穩(wěn)定性能
機(jī)構(gòu)部具有很高的剛性和耐久性，能夠長(zhǎng)期維持穩(wěn)定的性能。
3.采用X射線檔案峰值檢測(cè)功能
根據(jù)統(tǒng)計(jì)處理技術(shù)，采用X射線檔案峰值檢測(cè)方式，可獲得高精度穩(wěn)定的角度測(cè)量性能。
4.高速、高精度測(cè)量
不僅有4方位測(cè)量功能，還有2方位測(cè)量功能，測(cè)量時(shí)間只需要4方位測(cè)量的1/2。(不包括SU-001)
方位測(cè)量是用球面幾何學(xué)精確求解結(jié)晶方位的X,Y傾斜度。為此以和4方位測(cè)定相同的精度求出。
5.X射線劑量測(cè)定系統(tǒng)
X射線量測(cè)定系統(tǒng)通過(guò)脈沖海分析儀降低散射等誤差原因，篩選出Cu的特性X射線，可進(jìn)行高精度的測(cè)定。
6.采用高靈敏度檢測(cè)器(可支持偏移角大的結(jié)晶)
檢測(cè)器對(duì)應(yīng)檢測(cè)的X射線(Cu的K α)具有高靈敏度。另外，由于是氣體檢測(cè)器，所以對(duì)X射線的入射位置和方向的檢測(cè)靈敏度的變動(dòng)很小，對(duì)于結(jié)晶面的傾斜角的變化可以進(jìn)行穩(wěn)定的測(cè)量。
晶體方位檢測(cè)系統(tǒng)的參數(shù)：
| 型式 | 対象 | 測(cè)定項(xiàng)目 | 用途 |
|---|---|---|---|
| SU-001 | インゴット | Vノッチ（オリフラ面）方位 | Vノッチ加工用円筒研削機(jī)に本裝置を取り付けて、Vノッチ方位を決定します。 ?測(cè)定精度：±5′ ?対象ワークサイズ：2～18インチ |
| SU-002 | インゴット | カット面方位（軸方位） | ウェハ加工前インゴットの軸方位を測(cè)定します。 ?測(cè)定精度：±30″ ?対象ワークサイズ：2～18インチ |
| SU-003 | ウェハ | Vノッチ（オリフラ面）方位 | カット面方位（軸方位）?ウェハのカット面方位およびVノッチ方位と所定の結(jié)晶面との傾きを測(cè)定し、基準(zhǔn)値と比較して良否判定をします。 ?測(cè)定精度：±30″（カット面) ?対象ワークサイズ：2～18インチ |
| SU-005 | インゴット | Vノッチ（オリフラ面）方位、外観、形狀、重量 | Vノッチ加工後のインゴットについて、Vノッチの形狀?深さ?結(jié)晶方位、さらに、インゴットの欠け、傷、切削殘、直徑、重量を測(cè)定します。 測(cè)定精度：±5′ |
| SU-021 | インゴット | Vノッチ（オリフラ面）方位 | カット面方位（軸方位）ウェハ加工前インゴットの軸方位とVノッチの結(jié)晶方位を同時(shí)に測(cè)定します。（側(cè)面の測(cè)定のみで軸方位を求めます。特許第3805869號(hào)） ?測(cè)定精度：±5′（カット面） ±3′（Ｖノッチ方位） |
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