SU-021-晶體方位測(cè)量設(shè)備-信良志機(jī)械(武漢)有限公司

產(chǎn)地	進(jìn)口	類(lèi)型	其他X射線(xiàn)儀器
售后保修期	12個(gè)月	銷(xiāo)售區(qū)域	全國(guó)

晶體方位測(cè)量設(shè)備的特點(diǎn)：

1.實(shí)現(xiàn)角度測(cè)量的高精度化
根據(jù)獨(dú)自的測(cè)角系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高再現(xiàn)性和線(xiàn)性。
2.長(zhǎng)期穩(wěn)定性能
機(jī)構(gòu)部具有很高的剛性和耐久性，能夠長(zhǎng)期維持穩(wěn)定的性能。
3.采用X射線(xiàn)檔案峰值檢測(cè)功能
根據(jù)統(tǒng)計(jì)處理技術(shù)，采用X射線(xiàn)檔案峰值檢測(cè)方式，可獲得高精度穩(wěn)定的角度測(cè)量性能。
4.高速、高精度測(cè)量
不僅有4方位測(cè)量功能，還有2方位測(cè)量功能，測(cè)量時(shí)間只需要4方位測(cè)量的1/2。(不包括SU-001)
方位測(cè)量是用球面幾何學(xué)精確求解結(jié)晶方位的X,Y傾斜度。為此以和4方位測(cè)定相同的精度求出。
5.X射線(xiàn)劑量測(cè)定系統(tǒng)
X射線(xiàn)量測(cè)定系統(tǒng)通過(guò)脈沖海分析儀降低散射等誤差原因，篩選出Cu的特性X射線(xiàn)，可進(jìn)行高精度的測(cè)定。
6.采用高靈敏度檢測(cè)器(可支持偏移角大的結(jié)晶)
檢測(cè)器對(duì)應(yīng)檢測(cè)的X射線(xiàn)(Cu的K α)具有高靈敏度。另外，由于是氣體檢測(cè)器，所以對(duì)X射線(xiàn)的入射位置和方向的檢測(cè)靈敏度的變動(dòng)很小，對(duì)于結(jié)晶面的傾斜角的變化可以進(jìn)行穩(wěn)定的測(cè)量。

晶體方位測(cè)量設(shè)備的參數(shù)：

型式	対象	測(cè)定項(xiàng)目	用途
SU-001	インゴット	Vノッチ（オリフラ面）方位	Vノッチ加工用円筒研削機(jī)に本裝置を取り付けて、Vノッチ方位を決定します。 ?測(cè)定精度：±5′ ?対象ワークサイズ：2～18インチ
SU-002	インゴット	カット面方位（軸方位）	ウェハ加工前インゴットの軸方位を測(cè)定します。 ?測(cè)定精度：±30″ ?対象ワークサイズ：2～18インチ
SU-003	ウェハ	Vノッチ（オリフラ面）方位	カット面方位（軸方位）?ウェハのカット面方位およびVノッチ方位と所定の結(jié)晶面との傾きを測(cè)定し、基準(zhǔn)値と比較して良否判定をします。 ?測(cè)定精度：±30″（カット面) ?対象ワークサイズ：2～18インチ
SU-005	インゴット	Vノッチ（オリフラ面）方位、外観、形狀、重量	Vノッチ加工後のインゴットについて、Vノッチの形狀?深さ?結(jié)晶方位、さらに、インゴットの欠け、傷、切削殘、直徑、重量を測(cè)定します。測(cè)定精度：±5′
SU-021	インゴット	Vノッチ（オリフラ面）方位	カット面方位（軸方位）ウェハ加工前インゴットの軸方位とVノッチの結(jié)晶方位を同時(shí)に測(cè)定します。（側(cè)面の測(cè)定のみで軸方位を求めます。特許第3805869號(hào)） ?測(cè)定精度：±5′（カット面） ±3′（Ｖノッチ方位）