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    ATLEX-500-L/ATLEX-1000-L準(zhǔn)分子雷射

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    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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    更新時(shí)間:2023-10-13 10:10:33瀏覽次數(shù):288次

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    ATLEX-500-L/ATLEX-1000-L準(zhǔn)分子雷射
    ATL Lasertechnik
    New industrial excimer lasers
    ATLEX-500-L/ATLEX-1000-L準(zhǔn)分子雷射特點(diǎn):
    • TMC (Total-Metal-Ceramic) Vessel
    • Corona Preionization
    • Solid state switch
    • Extended Dynamic & Static Gas-Lifetime (Several Months)
    • Laser Head Volume 6 l
    • Air Cooled / Optional Liquid Cooled
    • RS-485, RS232, USB and fiber optic Interface for system integration
    • Flushable optics holder
    • Integrated 4-Valve System for Easy Gas Handling
    • Meets European CE-standard, RoHS compliant
    • Modular Design / Service Friendly
    ATLEX-500-L準(zhǔn)分子雷射/ATLEX-1000-L 主要參數(shù)
    ATLEX-500-L/ATLEX-1000-L Specifications
    Gas Medium
    ArF KrF Units
    Wavelength
    193 248 nm
    High Voltage Switching Technique
    Solid State Switch
    Max. Pulse Energy 1
    10 15 mJ
    Max. Average Power
     4.0 / 8.0  6.5 / 10.0  W
    Max. Rep Rate
     500 / 1000  Hz
    Pulse Duration 2
    5 – 8 ns
    Beam Dimensions (V x H)
    6 x 4 mm
    Beam Divergence (V x H)
    2 x 1 mrad
    Energy Stability (standard deviation)
    <> %
    Dimensions (LxWxH) click here for details
    600 x 415 x 567 mm
    Weight
    70 kg
    Cooling
    Cooling Air / Optional Liquid  
    Power requirement
    230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz  
    All specifications are typical data and subject to change without notice due to product improvements.
    • Measured at low rep.rates; allow 10% reduction of output energy and power for laser equipped with stabilization mode.
    • Typical value, FWHM

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