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    玟締科技有限公司


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    (全新)12吋液靜壓晶圓研磨主軸

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    更新時間:2023-11-27 14:18:58瀏覽次數(shù):247次

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    產品簡介

    特色:全新玟締科技自行研發(fā)製造的高精度液靜壓研磨主軸,採用高剛性液靜承科技,相較於傳統(tǒng)的滾珠軸承主軸,具有高運動精度、低振動、高剛性、低噪音、低阻尼等優(yōu)勢

    詳細介紹

    特色:
    全新玟締科技自行研發(fā)製造的高精度液靜壓研磨主軸,採用高剛性液靜承科技,相較於傳統(tǒng)的滾珠軸承主軸,具有高運動精度、低振動、高剛性、低噪音、低阻尼等優(yōu)勢。面對硬脆晶圓基板的高精度高剛性加工需求,液靜壓研磨主軸提供了高重現(xiàn)性、低熱變位、超高剛性的對應。本公司亦提供完整客製化服務以滿足客戶的各式應用。
    全新開發(fā)的XT35000液靜壓12吋晶圓研磨主軸,提供客戶端超高的軸向承載力,對於硬脆材料研磨需求,提供了更高的生產效率,非常適合SiC晶圓研磨減薄加工應用。XT35000液靜壓研磨主軸亦採用瑞士進口電機,提供了大功率的輸出、超低的震動,以及可靠的加工壽命。

    應用:
    適用於矽晶圓研磨減薄、藍寶石基板、GaAs/GaN晶圓、SiC晶圓研磨減薄、硬脆材料加工。

    優(yōu)點:
    - 液靜承(Hydrostatic Bearing) 科技
    - 適用12吋(300mm)/10吋(250mm)/8吋(200mm)砂輪盤
    - 可提供客製化砂輪盤介面
    - 內藏式感應馬達科技,超低震動。(可選配高扭力DC馬達對應)
    - 可選配中心出水功能
    - 高精密迴轉精度(Low Error-Motion)
    - 超高剛性/高承載力設計結構
    - 迴轉速度變動量小
    - 優(yōu)秀阻尼表現(xiàn)

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