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當(dāng)前位置：上海屹持光電技術(shù)有限公司>>光譜影像>>光源>> TEUS S-100荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源
產(chǎn)品型號(hào)TEUS S-100
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)代理商
所 在 地上海市
聯(lián)系方式：馮園園查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2023-07-07 14:38:01瀏覽次數(shù)：389次
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| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 售后保修期 | 12個(gè)月 |
|---|---|---|---|
| 銷售區(qū)域 | 全國,華東,華南,華北,華中,東北,西南,西北,港澳臺(tái),海外 |
荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源
產(chǎn)品介紹：
ISTEQ公司開發(fā)了一種基于激光產(chǎn)生等離子體（LPP）的EUV光源。該光源具有ji高的亮度和ji高的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料，無需中斷和更換燃料盒，因此持續(xù)運(yùn)行時(shí)間極長。
ISTEQ公司為LPP光源開發(fā)的燃料是針對特定應(yīng)用的光譜范圍而設(shè)計(jì)的。然而，對于掩模檢查的應(yīng)用，公司開發(fā)了一種高頻錫旋轉(zhuǎn)靶，已在quan球范圍內(nèi)獲得專li。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
·高亮度以及出色的穩(wěn)定性
·zui少的碎片
·ji高的正常運(yùn)行時(shí)間
·高占空比和交鑰匙操作
·用戶友好的自動(dòng)化協(xié)議，確保系統(tǒng)平穩(wěn)運(yùn)行，沒有中斷的風(fēng)險(xiǎn)。
產(chǎn)品應(yīng)用：
·掩模和表面檢查：
·圖案掩模檢測 (PMI)
·區(qū)域掩模檢測 (AIMS)
·掩模空白檢測 (MBI)
·EUV 掃描儀檢
·材料科學(xué)
·晶圓檢查
TEUS 系列激光等離子體光源 |
荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源
荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源
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