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主要特長(zhǎng)主動(dòng)減震系統(tǒng)配重工作臺(tái)機(jī)構(gòu)搭載與加工工作臺(tái)相反相位驅(qū)動(dòng)的反向軸。通過(guò)化解重心位置的變動(dòng)與反作用的構(gòu)造，將切削加工的振動(dòng)降低到極限，實(shí)現(xiàn)納米領(lǐng)域的超精密加工。通過(guò)與本公司制高頻放大器的協(xié)同效應(yīng)，能夠用以往1.7 倍的高加速度進(jìn)行高速、高精度驅(qū)動(dòng)。搭載新型NC 裝置與高頻放大器搭載了本公司研發(fā)制造的新型NC 裝置LN4AZ和高頻放大器。通過(guò)光柵尺反饋的高分辨率化（分辨率從3nm 提升至0.......

詳情介紹

各軸行程 X×Y×Z (mm)300 x 250 x 100 切削進(jìn)給速度（mm/min）5000 加速度 X×Y×Z2 x 1.5 x 2G（加工時(shí) 0.5G）主軸旋轉(zhuǎn)速度（min^-1）20,000～120,000 機(jī)床主體重量（kg）5500 総電気容量（kVA）25 機(jī)床主體尺寸寬×長(zhǎng)×高 (mm)1350 x 2030 x 2050 *1