主要特長直線電機(jī)驅(qū)動(dòng) + 高剛性構(gòu)造直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)是使用了直線電機(jī)以及直線光柵尺，半性維持其高速·高應(yīng)答性能的理想的驅(qū)動(dòng)方式。此外，應(yīng)用了的分析技術(shù)，實(shí)現(xiàn)高剛性構(gòu)造。搭載新開發(fā)的“TMM回路"AD系列搭載了采用“TMM回路"的LN電源，實(shí)現(xiàn)了高速·高精度·高品質(zhì)。此外，標(biāo)準(zhǔn)搭載自動(dòng)程序創(chuàng)建功能“LN專業(yè)版"。Arc-less & 高品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)搭載了新放電穩(wěn)定加工系統(tǒng)“Arc-less"，縮短了加工時(shí)間，降低了成本以及減少了人為錯(cuò)誤。而且，通過可以實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)精加工面的“SVC回路"，可以在短時(shí)間內(nèi)獲得高品質(zhì)的暗光面或鏡面。