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    32BF-4M5P精密研磨拋光設(shè)備

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    更新時間:2022-10-23 16:39:50瀏覽次數(shù):507

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    產(chǎn)品簡介

    一、產(chǎn)品用途主要用于半導(dǎo)體、藍(lán)寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨,尤其對于超薄工件的加工具有明顯的優(yōu)勢

    詳細(xì)介紹

    一、產(chǎn)品用途

     

        主要用于半導(dǎo)體、藍(lán)寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨,尤其對于超薄工件的加工具有明顯的優(yōu)勢。

     

    二、安裝條件

     

    序號

    項目

    指標(biāo)要求

    1

    環(huán)境

    室內(nèi)地面平坦、無振動源、無灰塵煙霧污染

    2

    水源

    純水或自來水

    3

    電源

    約70kW  AC380V  50Hz(總功率)

    4

    氣源

    壓縮空氣源 0.6Mpa,接口φ16mm(外徑)

    5

    溫度

    10℃-25℃

    6

    相對濕度

    ≤95%

    7

    外形尺寸(長x寬x高)

    3700x3000x4100mm(含地腳高度及電器柜尺寸)

    8

    主機(jī)重量

    28000Kg

    9

    主機(jī)顏色

    BH白或訂制

     

     

    三、主要特點(diǎn)

     

    序號

    項目

    特點(diǎn)

    1

    壓力控制

    運(yùn)動控制器+壓力傳感器+電氣比例閥+低摩擦氣缸實(shí)現(xiàn)高精度壓力控制,上盤使用壓力1200Kg,精度可達(dá)2%

    2

    上盤調(diào)心

    采用萬向節(jié)結(jié)構(gòu),調(diào)心靈活,承載力高

    3

    上盤防落裝置

    雙重機(jī)械鎖定,安全性更高

    4

    高精度速度控制

    自編程實(shí)現(xiàn)低速平穩(wěn)、啟停同步運(yùn)轉(zhuǎn)控制,內(nèi)外齒圈采用伺服控制,速度控制更精準(zhǔn)

    5

    精密傳動系統(tǒng)

    高精度小齒隙全齒輪傳動

    6

    下盤支撐

    高精度流體軸承支撐

    7

    免維護(hù)設(shè)計

    齒輪采用自動集中潤滑裝置,關(guān)鍵器件采用進(jìn)口品牌,軸承留有潤滑接口

    8

    強(qiáng)制散熱系統(tǒng)

    軸流風(fēng)機(jī)排熱方式,并預(yù)留抽風(fēng)接口,用戶可自行連接

    9

    清洗便捷

    低臺面、半裸式接液盆

    10

    同步升降

    齒圈太陽輪同步升降,采用伺服電機(jī)拖動,可自動或手動調(diào)節(jié)高度,延長使用壽命

    11

    游輪精確定位

    齒圈太陽輪采用伺服電機(jī)拖動,可實(shí)現(xiàn)游輪的精確定位

    12

    水液分離裝置

    水液切換程序控制,自動分離,操作便捷,清洗水可自動排放

    13

    整機(jī)減振

    防振式結(jié)構(gòu)設(shè)計安裝,設(shè)備更穩(wěn)定

    14

    防護(hù)設(shè)計

    齒圈、太陽輪采用不銹鋼制作,接液盆,托盤、拋盤等接觸到工作液的地方均噴涂特氟龍

    15

    供液系統(tǒng)

    桶體設(shè)有排污口,具備溫度、液位監(jiān)測,具有加熱和冷卻功能,具有液泵和攪拌泵,出口設(shè)有過濾器,管路設(shè)有流量監(jiān)測,能在線實(shí)時檢測流量

    16

    自動測厚

    設(shè)備裝有機(jī)械測厚系統(tǒng),能在線實(shí)時檢測工件加工厚度

    17

    分級管理

    密碼分級管理,不同人員具有不同的操作權(quán)限

    18

    工藝適用性

    程序控制

    可儲存多套工藝參數(shù),每套工藝可達(dá)20步,工藝參數(shù)設(shè)置包括(壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等)

     

    速比搭配

    四電機(jī)獨(dú)立同步拖動,上下盤、內(nèi)齒、外齒(即可正轉(zhuǎn),也可反轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)速可任意設(shè)定,具有配方功能

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