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詳細(xì)介紹
一、產(chǎn)品用途
光學(xué)玻璃、陶瓷、電子材料及硅片、鍺片、計(jì)算機(jī)磁盤基片等金屬、非金屬等硬脆材料的雙面高精度拋光加工，尤其適用于5〃(φ125mm)以下硅片及同尺寸規(guī)格異形平行平面材料的雙面精密拋光加工。
二、主要特點(diǎn)
1.壓力精密控制：PLC+PT +低摩擦氣缸實(shí)現(xiàn)精密壓力控制;
2.上盤減震裝置：動靜態(tài)均適用的減振彈性連接方式;
3.精密傳動系統(tǒng)：高精度全齒輪傳動，高精度軸承支撐;
4.下盤支撐：高精度結(jié)構(gòu)軸承支撐，提高設(shè)備的精度和運(yùn)行平穩(wěn)性;
5.免維護(hù)：關(guān)鍵器件采用國產(chǎn)品牌，冗余設(shè)計(jì)安全系數(shù)大;
6.強(qiáng)制散熱系統(tǒng)：采用軸流風(fēng)機(jī)排熱方式，并預(yù)留抽風(fēng)接口，用戶可自行連接
7.操作便捷：低臺面、半裸式接液盆便于清洗;下盤具有氣動升降功能，滿足了取放工件及調(diào)整游輪嚙合位置的要求
三、技術(shù)參數(shù)
| 序號 | 項(xiàng)目 | 規(guī)格參數(shù) | |
| 1 | 下拋盤 | 尺寸 | φ1155mm×φ348mm×50mm |
| 轉(zhuǎn)速 | 3-60rpm | ||
| 2 | 上拋盤 | 尺寸 | φ1155mm×φ348mm×50mm |
| 3 | 上下盤驅(qū)動電機(jī) | 15kW AC380V 50Hz 1460rpm（變頻控制） | |
| 4 | 太陽輪驅(qū)動電機(jī) | 2.2kW AC380V 50Hz 1420rpm（變頻控制） | |
| 5 | 游星輪 | 參數(shù) | 英制：DP12 Z=200 α=20° |
| 數(shù)量 | 5個(gè) | ||
| 6 | 供液裝置 | 攪拌電機(jī) | 120W，AC380V |
| 供液泵 | 1/4HP 容積約40L（雙層） | ||
| 7 | 精度指標(biāo) | 下拋盤端面跳動 | ≤0.05mm |
| 上、下拋盤平面度 | ≤0.02mm | ||
| 8 | 水源 | 純水或自來水 | |
| 9 | 電源 | 18.5kW AC380V 50Hz（總功率） | |
| 10 | 線纜規(guī)格 | 三相五線制．3×6mm2+2×4mm2 | |
| 11 | 氣源 | 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa，接口φ10mm（外徑） | |
| 12 | 外形尺寸 | 寬x長x高：1550mm×2000mm×2740mm | |
| 13 | 重量 | 約5500Kg | |
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