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    32BF-4M5L精密雙面平面研磨機

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    • 32BF-4M5L精密雙面平面研磨機

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    更新時間:2022-10-23 16:36:57瀏覽次數(shù):618

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    產品簡介

    一、產品用途主要用于半導體、藍寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨,尤其對于超薄工件的加工具有明顯的優(yōu)勢

    詳細介紹

    一、產品用途

     

        主要用于半導體、藍寶石、玻璃、陶瓷片、晶體材料及其他硬脆材料的高精度雙面研磨,尤其對于超薄工件的加工具有明顯的優(yōu)勢。

     

    二、安裝條件

     

    序號

    項目

    指標要求

    1

    環(huán)境

    室內地面平坦、無振動源、無灰塵煙霧污染

    2

    水源

    純水或自來水

    3

    電源

    約70kW  AC380V  50Hz(總功率)

    4

    氣源

    壓縮空氣源 0.6Mpa,接口φ16mm(外徑)

    5

    溫度

    10℃-25℃

    6

    相對濕度

    ≤95%

    7

    外形尺寸(長x寬x高)

    3700x3000x4100mm(含地腳高度及電器柜尺寸)

    8

    主機重量

    28000Kg

    9

    主機顏色

    BH白或訂制

     

    三、主要特點

     

    序號

    項目

    特點

    1

    壓力控制

    運動控制器+壓力傳感器+電氣比例閥+低摩擦氣缸實現(xiàn)高精度壓力控制,上盤使用壓力1200Kg,精度可達2%

    2

    上盤調心

    采用萬向節(jié)結構,調心靈活,承載力高

    3

    上盤防落裝置

    雙重機械鎖定,安全性更高

    4

    高精度速度控制

    自編程實現(xiàn)低速平穩(wěn)、啟停同步運轉控制,內外齒圈采用伺服控制,速度控制更精準

    5

    精密傳動系統(tǒng)

    高精度小齒隙全齒輪傳動

    6

    下盤支撐

    高精度流體軸承支撐

    7

    免維護設計

    齒輪采用自動集中潤滑裝置,關鍵器件采用進口品牌,軸承留有潤滑接口

    8

    強制散熱系統(tǒng)

    軸流風機排熱方式,并預留抽風接口,用戶可自行連接

    9

    清洗便捷

    低臺面、半裸式接液盆

    10

    同步升降

    齒圈太陽輪同步升降,采用伺服電機拖動,可自動或手動調節(jié)高度,延長使用壽命

    11

    游輪精確定位

    齒圈太陽輪采用伺服電機拖動,可實現(xiàn)游輪的精確定位

    12

    水液分離裝置

    水液切換程序控制,自動分離,操作便捷,清洗水可自動排放

    13

    整機減振

    防振式結構設計安裝,設備更穩(wěn)定

    14

    防護設計

    齒圈、太陽輪采用不銹鋼制作,接液盆,托盤、拋盤等接觸到工作液的地方均噴涂特氟龍

    15

    供液系統(tǒng)

    桶體設有排污口,具備溫度、液位監(jiān)測,具有加熱和冷卻功能,具有液泵和攪拌泵,出口設有過濾器,管路設有流量監(jiān)測,能在線實時檢測流量

    16

    自動測厚

    設備裝有機械測厚系統(tǒng),能在線實時檢測工件加工厚度

    17

    分級管理

    密碼分級管理,不同人員具有不同的操作權限

    18

    工藝適用性

    程序控制

    可儲存多套工藝參數(shù),每套工藝可達20步,工藝參數(shù)設置包括(壓力、時間、速度、速比、緩降壓力、浮動時間等)

     

    速比搭配

    四電機獨立同步拖動,上下盤、內齒、外齒(即可正轉,也可反轉)轉速可任意設定,具有配方功能

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