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    那諾—馬斯特中國(guó)有限公司
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    NIE-3000離子束清洗系統(tǒng)

    參  考  價(jià)面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

    產(chǎn)品型號(hào)

    品       牌

    廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

    所  在  地國(guó)外

    聯(lián)系方式:張經(jīng)理查看聯(lián)系方式

    更新時(shí)間:2022-11-11 11:10:40瀏覽次數(shù):332次

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    產(chǎn)地 進(jìn)口 售后保修期 12個(gè)月
    銷售區(qū)域 全國(guó)
    NIE-3000離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述:該系統(tǒng)為手動(dòng)放片取片,但通過計(jì)算機(jī)全自動(dòng)實(shí)現(xiàn)工藝控制的臺(tái)式離子束刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強(qiáng)大、自動(dòng)化程度高、模塊化設(shè)計(jì)易于維護(hù)、低成本的優(yōu)s。

    NIE-3000離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述:該系統(tǒng)為手動(dòng)放片取片,但通過計(jì)算機(jī)全自動(dòng)實(shí)現(xiàn)工藝控制的臺(tái)式離子束刻蝕系統(tǒng),系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強(qiáng)大、自動(dòng)化程度高、模塊化設(shè)計(jì)易于維護(hù)、低成本的優(yōu)s。


    NIE-3000.png


    NIE-3000離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn):

    • 低成本

    • 離子束:高達(dá)2KV/10mA

    • 離子電流密度100-360uA/cm2

    • 離子束直徑:4",5",6"

    • 兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)

    • J限真空5x10-7Torr

    • 260l/s渦輪分子泵,串接500 l/min干泵

    • 14"不銹鋼或鋁質(zhì)腔體

    • 水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(tái)(NIE-3500)

    • 自動(dòng)上下載片(NIE-3500)

    • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制

    • 占地面積30"x30"


    產(chǎn)品應(yīng)用:

    • 表面處理

    • 離子銑

    • 表面清洗

    • 帶活性氣體的離子束刻蝕:  光柵刻蝕,以及SiO2,Si和金屬的深槽刻蝕


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