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| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地國外
聯(lián)系方式：張經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2022-11-11 11:18:41瀏覽次數(shù)：615次
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NPC-3500（M）等離子去膠機(jī)（刻蝕機(jī)）
NPC-4000（M）等離子去膠機(jī)（刻蝕機(jī)）
| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 售后保修期 | 12個(gè)月 |
|---|---|---|---|
| 銷售區(qū)域 | 全國 |
NPC-4000（M）等離子去膠機(jī)（刻蝕機(jī)）概述：NANO-MASTER 等離子去膠和清洗系統(tǒng)是專門設(shè)計(jì)用來滿足晶圓批處理或者單晶片處理的廣泛應(yīng)用，從晶圓的光刻膠剝離到表面改性都涉及到。該系列的設(shè)備采用PC控制，可以配套不同的等離子源，加熱或不加熱基片夾具,具有*的能力:可以從PE等離子刻蝕切換到RIE刻蝕模式,也就是說可以支持各向同性和各向異性的各種應(yīng)用。
NPC-4000（M）等離子去膠機(jī)（刻蝕機(jī)）產(chǎn)品特點(diǎn)：
緊湊型立式系統(tǒng)
手動(dòng)上下載片
不銹鋼、鋁制腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
兼容100級(jí)超凈間使用
淋浴頭、ICP或微波等離子源
旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
RF偏壓可PID控制加熱到300 °C或冷卻的樣品臺(tái)
全自動(dòng)或手動(dòng)RF調(diào)諧
z多可支持8個(gè)MFC帶電拋光的氣體管路
PC計(jì)算機(jī)控制的氣動(dòng)閥
帶密碼保護(hù)的多級(jí)訪問控制
基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
機(jī)械泵的壓力可達(dá)到10mTorr
250 l/s的渦輪分子泵
J限真空為5x10-7Torr
完整的安全聯(lián)鎖
NPC-4000（M）應(yīng)用：
有機(jī)物以及無機(jī)物的殘留物去除
光刻膠剝離或灰化
去殘膠以及內(nèi)腐蝕(深腐蝕)應(yīng)用
清洗微電子元件，電路板上的鉆孔或銅線框架
提高黏附性，消除鍵合問題
塑料的表面改型：O2處理以改進(jìn)涂覆性能
產(chǎn)生親水或疏水表面
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