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當前位置：那諾—馬斯特中國有限公司>>Growth生長系統(tǒng)>>MOCVD設備>> NMC-4000（A）全自動PAMOCVD系統(tǒng)
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地國外
聯(lián)系方式：張經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時間：2022-11-18 14:21:39瀏覽次數(shù)：231次
聯(lián)系我時，請告知來自 機床商務網(wǎng)| 產(chǎn)地 | 進口 | 售后保修期 | 12個月 |
|---|---|---|---|
| 銷售區(qū)域 | 全國 |
NMC-4000（A）全自動PAMOCVD系統(tǒng)概述：NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7TorrJ限真空)、PC全自動控制，*的安全互鎖。
目前，這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。
NMC-4000（A）全自動PAMOCVD系統(tǒng)應用：Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
特點：
獨立系統(tǒng)
14"不銹鋼立方體腔體
1次在8"樣品臺上處理1個6"晶圓片或在12"樣品臺上處理5片4"片子
加熱的氣體管路
RF等離子源，自動調(diào)諧
淋浴頭氣體分布
1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺
N2沖洗
全自動上下載片
可以兼容到集群配置中
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