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    NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統(tǒng)

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    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

    所  在  地國外

    聯(lián)系方式:張經(jīng)理查看聯(lián)系方式

    更新時間:2022-11-18 14:21:39瀏覽次數(shù):231次

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    NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統(tǒng)概述:NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7TorrJ限真空)、PC全

    NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統(tǒng)概述:NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7TorrJ限真空)、PC全自動控制,*的安全互鎖。

    目前,這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統(tǒng),該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。


    NMC-4000(A)全自動PAMOCVD系統(tǒng)應用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)


    NMC-4000(M)-1.png


    特點:

    • 獨立系統(tǒng)

    • 14"不銹鋼立方體腔體

    • 1次在8"樣品臺上處理1個6"晶圓片或在12"樣品臺上處理5片4"片子

    • 加熱的氣體管路

    • RF等離子源,自動調(diào)諧

    • 淋浴頭氣體分布

    • 1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺

    • N2沖洗

    • 全自動上下載片

    • 可以兼容到集群配置中


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