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    NRE-3500型RIE-PE刻蝕機(jī)

    參  考  價面議
    具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

    所  在  地國外

    聯(lián)系方式:張經(jīng)理查看聯(lián)系方式

    更新時間:2022-11-18 14:22:25瀏覽次數(shù):405次

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    銷售區(qū)域 全國
    NRE-3500型RIE-PE刻蝕機(jī)概述:獨(dú)立式RIE刻蝕PE刻蝕一體機(jī),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13“的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2“的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持至大到12“的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計,并且根據(jù)配套的真空泵可以達(dá)到10-6 Torr 或更小的J限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工

    NRE-3500型RIE-PE刻蝕機(jī)概述:獨(dú)立式RIE刻蝕PE刻蝕一體機(jī),淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持至大到12"的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計,并且根據(jù)配套的真空泵可以達(dá)到10-6 Torr 或更小的J限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節(jié)流閥,一個250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過濾器,以及一個10cfm的機(jī)械泵(帶Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達(dá)-500V.這對于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。


    NRE-3500型RIE-PE刻蝕機(jī)是基于PC控制的全自動系統(tǒng).系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實(shí)時顯示,流量及功率則以數(shù)字形式實(shí)時顯示.系統(tǒng)提供密碼保護(hù)的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級,以及維護(hù)人員級.允許半自動模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動執(zhí)行程序模式(操作模式)運(yùn)行系統(tǒng)。基于全自動的控制,該系統(tǒng)具有高度的可重復(fù)性。


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    NRE-3500型產(chǎn)品特點(diǎn):

    • 鋁質(zhì)腔體或不銹鋼腔體

    • 支持各向同性刻蝕和各向異性刻蝕兩種刻蝕模式

    • 不銹鋼立柜

    • 能夠刻蝕硅的化合物(~400? /min)以及金屬

    • 典型的硅刻蝕速率,400 ?/min

    • 高達(dá)12"的陽J氧化鋁RF樣品臺

    • 水冷及加熱的RF樣品臺

    • 大的自偏壓

    • 淋浴頭氣流分布

    • J限真空5x10-7Torr,20分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6Torr級別

    • 渦輪分子泵

    • 至多支持5個MFC

    • 無繞曲氣體管路

    • 自動下游壓力控制

    • 雙刻蝕能力:RIE以及PE刻蝕(可選)

    • 終點(diǎn)監(jiān)測

    • 氣動升降頂蓋

    • 手動上下載片

    • 基于LabView軟件的PC計算機(jī)全自動控制

    • 菜單驅(qū)動,4級密碼訪問保護(hù)

    • *的安全聯(lián)鎖

    • 可選ICP離子源以及低溫冷卻樣品臺,用于深硅刻蝕


    NRE-3500型產(chǎn)品型號:

    • NRE-4000:基于PC計算機(jī)全自動控制的獨(dú)立式系統(tǒng),占地面積26“D x 44"W

    • NRE-3500:基于PC計算機(jī)全自動控制的緊湊型獨(dú)立式系統(tǒng),占地面積26“D x 26"W

    • NRE-3000:基于PC計算機(jī)全自動控制的臺式系統(tǒng),占地面積26“D x 26"W

    • NRP-4000:RIE/PECVD雙系統(tǒng)

    • NDR-4000:深RIE刻蝕(深硅刻蝕)系統(tǒng)


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