產(chǎn)品名稱：378系列—半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡：產(chǎn)品介紹FS-70378系列半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡特點(diǎn)此光學(xué)系統(tǒng)最初是為的FS60型(后升級(jí)為FS70型)而開發(fā)的

產(chǎn)品名稱：378 系列 — 半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡

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產(chǎn)品介紹

FS-70
378 系列 — 半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡
特點(diǎn)
• 此光學(xué)系統(tǒng)最初是為的 FS60 型 (后升
級(jí)為 FS70 型) 而開發(fā)的。它作為測(cè)量檢測(cè)
半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。
• FS70L 支持3 種YAG 激光波長(zhǎng)(1064nm,
532nm, 355nm)， FS70L4 支持 2 種波長(zhǎng)(532nm,
266nm)，可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激
光切割和薄膜技術(shù)。這就擴(kuò)大了激光的
使用范圍。然而，使用三豐量具對(duì)顯微
鏡的激光系統(tǒng)的性能和安全性，三豐公
司不負(fù)責(zé)任。我們推薦在選購(gòu)激光發(fā)射
器時(shí)應(yīng)仔細(xì)檢查。
• FS70Z 的標(biāo)準(zhǔn)功能有：亮視場(chǎng)，微分干涉
對(duì)比 (DIC) 和偏振觀測(cè)。FS70L 和FS70L4 不
支持 DIC。
使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長(zhǎng)工作距離物鏡
的操作很簡(jiǎn)單。
• 極易操作的設(shè)計(jì)：FS70 采用正像光學(xué)系統(tǒng)
(視場(chǎng)中的像與樣品方向相同) 并用橡膠把
手加大微調(diào)手輪。