詳細(xì)介紹
Talysurf CCI非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓儀,一臺*的光學(xué)儀,采用了創(chuàng)新的相關(guān)相干算法,對拋光的、粗糙的、曲面的、平面的、或者臺階的表面進行掃描,獲取表面的三維形貌數(shù)據(jù)。
型號 | CCI |
測量方法 | 相關(guān)相干干涉(CCI) |
Z軸分辨率 | 0.01nm |
Z軸測量范圍 | 2.2nm |
RMS重復(fù)性 | <0.02nm |
測量面積(X.Y) | 6.6x6.6mm |
特點 | 非壓電陶瓷閉環(huán)Z軸控制,提高精度,不易損壞 |
應(yīng)用范圍 | MEMS, 芯片,膜厚,鏡頭和玻璃表面分析,磨損測試和摩擦學(xué),材料分析,太陽能電池,等 |