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    非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓形貌儀

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    更新時間:2022-08-27 10:33:39瀏覽次數(shù):697

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    TalysurfCCI非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓儀,一臺*的光學(xué)儀,采用了創(chuàng)新的相關(guān)相干算法,對拋光的、粗糙的、曲面的、平面的、或者臺階的表面進行掃描,獲取表面的三維形貌數(shù)據(jù)

    詳細(xì)介紹

    Talysurf CCI非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓儀,一臺*的光學(xué)儀,采用了創(chuàng)新的相關(guān)相干算法,對拋光的、粗糙的、曲面的、平面的、或者臺階的表面進行掃描,獲取表面的三維形貌數(shù)據(jù)。
    型號

    CCI

    測量方法

    相關(guān)相干干涉(CCI)

    Z軸分辨率

    0.01nm

    Z軸測量范圍

    2.2nm

    RMS重復(fù)性

    <0.02nm

    測量面積(X.Y)

    6.6x6.6mm

    特點 非壓電陶瓷閉環(huán)Z軸控制,提高精度,不易損壞
    應(yīng)用范圍 MEMS, 芯片,膜厚,鏡頭和玻璃表面分析,磨損測試和摩擦學(xué),材料分析,太陽能電池,等

    非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓形貌儀

    非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓形貌儀

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