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詳細介紹
滿足計量檢測用戶更穩(wěn)定、更高精度、更便利的使用要求；
以光刻機用激光干涉測量系統(tǒng)為基礎(chǔ)，
在保留高穩(wěn)定性、高精度、高采樣速率性能的同時，
將光源和測量信號接收處理單元集成在主機里，
一體化設(shè)計為用戶提供更加方便、易用、友好的使用體驗；
典型頻差7±0.5 MHz，測速高達2m/s。
系統(tǒng)組成：
LH2000激光測頭及附件
環(huán)境補償單元
LaserLC測量軟件
線性位移測量鏡組（選配：角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等）
光學(xué)調(diào)整附件
三腳架及其他測量附件
（欲了解更多單頻與雙頻干涉儀的性能特點和差異，請閱覽本網(wǎng)站解決方案欄目中的：雙頻激光干涉儀）
| 激光頭尺寸 | 330mm×110mm×95mm |
| 激光頭重量 | 3.3kg |
| 激光光束直徑 | 6mm |
| 激光功率 | >0.5mw |
| 真空波長 | 632.99nm |
| 頻差 | 可定制 典型值7±0.5 MHz |
| 工作溫度范圍 | +10℃~+30℃ |
| 儲存溫度范圍 | +15℃~+45℃ |
| 激光穩(wěn)頻精度 | ±0.02ppm |
| 線性測量范圍 | 40m |
| 線性測量精度 | ±0.1ppm(真空中) ±0.4ppm*(使用LC-2000環(huán)境補償器) |
| 分辨率 | 1nm |
| 測量速度 | 2m/s |
| 工作電源 | 220V/50Hz |
懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
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