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詳細(xì)介紹
鐳測(cè)科技推出的LS600單頻激光干涉儀采用單頻測(cè)量技術(shù)，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國(guó)外產(chǎn)品同等水平。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可實(shí)現(xiàn)對(duì)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測(cè)，是高精度線性位移測(cè)量、數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)、光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)的高效率量測(cè)工具。
系統(tǒng)組成：
LS600單頻激光頭及附件
LC-2000環(huán)境補(bǔ)償單元
Leice Measure測(cè)量軟件、Leice Analysis 分析軟件
線性位移測(cè)量鏡組（選配：角度、直線度、垂直度、平面度測(cè)量鏡組等）
光學(xué)調(diào)整附件
三腳架及其他測(cè)量附件
測(cè)量方式 | 單頻 |
激光穩(wěn)頻精度 | ±0.05ppm |
真空波長(zhǎng) | 632.99nm |
激光功率 | >0.5mW |
激光光束直徑 | 6 mm |
波長(zhǎng)補(bǔ)償精度 | ±0.5ppm |
預(yù)熱時(shí)間 | <10分鐘 |
測(cè)量長(zhǎng)度范圍 | 0-40m |
測(cè)量精度 | ±0.5ppm* |
精度范圍 | 0℃-40℃ |
分辨率 | 1nm |
測(cè)量速度 | 4m/s |
系統(tǒng)測(cè)量能力 | 線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度 |
接口 | 內(nèi)置 USB 通訊端口，無(wú)需單獨(dú)接口 |
觸發(fā)脈沖輸入 | 是 |
*注：精度值不包括將材料溫度歸一化為20℃時(shí)與其有關(guān)的誤差 |
懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請(qǐng)諒解。
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