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詳細(xì)介紹
ZERNIKE提供干涉儀平面標(biāo)準(zhǔn)鏡和球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，平面標(biāo)準(zhǔn)鏡包含平面透射標(biāo)準(zhǔn)鏡和平面反射標(biāo)準(zhǔn)鏡。 有效口徑有150mm，100mm，60mm，30mm，標(biāo)準(zhǔn)鏡與Zygo 、富士通通用。
| 標(biāo)準(zhǔn)鏡技術(shù)參數(shù) | |||
| 型號(hào) | 有效口徑 | 材料 | 精度 （λ=632.8nm） |
| ZK-150-TF | 150mm | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/20 |
| ZK-100-RF | 100 mm | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/20 |
| ZK-60-RF | 60mm | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/20 |
| ZK-30-RF | 30mm | 熔石英 (Corning 7980) | PV<λ/20 |
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