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    l   突破傳統(tǒng)直角座標(biāo)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，採用線性馬達(dá)精密萬向軸承，建立平行六連桿運(yùn)動機(jī)構(gòu)，以達(dá)到快速精準(zhǔn)的量測動作。
    l   內(nèi)建溫度控制裝置，確保不受環(huán)境溫度影響。
    l   佔地面積小，節(jié)省空間。
    l   使用三次元有如分厘卡簡單。
    		                          
                            
                            
                              
                                                                                                                      
                            
                              		                    
                      
                      
                        
                                               
                      
                      
                        
                                                    
                              
                                                                產(chǎn)品規(guī)格                          
                            
                            
                              
                                                                
                                    
                                                                       
                                  
                                    		                          
                            
                            
                              
                                                                                                                      
                            
                            
                              
                                 
     
        
    型式
          		    
    350
          		    
    500
          		 
     
        
    各軸行程(mm)
          		    
    X:300
      
    Y:300
      
    Z:200
          		    
    X:400
      
    Y:400
      
    Z:270
          		 
     
        
    機(jī)臺大小(mm)
          		    
    X:790
      
    Y:900
      
    Z:2030
          		    
    X:905
      
    Y:1140
      
    Z:2195
          		 
     
        
    光學(xué)尺解析度
          		    
    0.5µm
          		    
    0.5µm
          		 
     
        
    平臺結(jié)構(gòu)
          		    
    花崗巖
          		    
    花崗巖
          		 
     
        
    移動速度
          		    
    500mm/sec
          		    
    500mm/sec
          		 
     
        
    移動加速度
          		    
    750mm/sec2
          		    
    750mm/sec2
          		 
     
        
    空氣消耗量
          		    
    無須氣壓
          		    
    無須氣壓
          		 
     
        
    所需空氣壓力
          		    
    無須氣壓
          		    
    無須氣壓’
          		 
    		                          
                            
                            
                              
                                                                                                                                                                                   
                            
                            
                              
                                                                                                                                                                                   
                            
                              		                    
                      
                      
                        
                                                
                      
                                              
                
    
            
    
        
    
                 
    
            
    
                
                
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