XENOS 超高精度三次元

XENOS可在各類(lèi)要求高測(cè)量精度的領(lǐng)域使用—從科研機(jī)構(gòu)的測(cè)量實(shí)驗(yàn)室、航空和航太工業(yè)及光學(xué)工業(yè)。

長(zhǎng)度測(cè)量誤差E0 

0.3 + L/1,000 μm

測(cè)量範(fàn)圍

創(chuàng)新的機(jī)械設(shè)計(jì)

XENOS採(cǎi)用了全新的機(jī)械設(shè)計(jì)理念。與標(biāo)準(zhǔn)橋式測(cè)量機(jī)不同：Y導(dǎo)軌分佈於側(cè)壁頂部，分離式移動(dòng)行程軸僅橫樑於Y軸方向移動(dòng)，更小及恒定的移動(dòng)重量——與移動(dòng)式平臺(tái)相比堪稱(chēng)真正的優(yōu)勢(shì)。更低及恒定的移動(dòng)重量造就了加速及高速的統(tǒng)一。

所有軸均採(cǎi)用線性驅(qū)動(dòng)

XENOS的所有軸均採(cǎi)用線性驅(qū)動(dòng)。其優(yōu)點(diǎn)：高速、加速極快、定位精度高。結(jié)合超高解析度光學(xué)尺技術(shù)，XENOS的線性驅(qū)動(dòng)可獲得高度穩(wěn)定性及低於100奈米的極高定位精度。

模擬型驅(qū)動(dòng)

XENOS於Y軸向配備雙線性驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，得益於蔡司的驅(qū)動(dòng)技術(shù)可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置分佈驅(qū)動(dòng)力。作為控制系統(tǒng)及演算法之結(jié)合，這是在整個(gè)測(cè)量範(fàn)圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測(cè)量精度及運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。

碳化矽陶瓷

XENOS在與精度密切相關(guān)的機(jī)器部件上採(cǎi)用創(chuàng)新的碳化矽陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類(lèi)似產(chǎn)品或精度的測(cè)量機(jī)器上得到使用。與常規(guī)陶瓷相比，碳化矽陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可提升30%，同時(shí)減重20%。與鋼材相比，碳化矽陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。

加強(qiáng)型VAST gold

XENOS採(cǎi)用蔡司VAST gold測(cè)量探頭。在研發(fā)過(guò)程中，蔡司在測(cè)量精度和測(cè)量重複度方面對(duì)該探頭進(jìn)行了優(yōu)化。XENOS也採(cǎi)用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與長(zhǎng)度可達(dá)800毫米的測(cè)針以及重量高達(dá)500克的測(cè)針配套使用，包括非對(duì)稱(chēng)型測(cè)針。

優(yōu)質(zhì)化的氣浮軸承

全新強(qiáng)化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測(cè)量精度。

改進(jìn)的電子設(shè)計(jì)