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更新時間:2024-06-24 09:54:28瀏覽次數(shù):634次
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美國Setra西特217型壓力變送器
217G025PGE11106J
217G050PGE11106J
217G250PGE11106J
217G500PGE11106J
217G1000PGE11106J
217G2000PGE11106J
217G3000PGE11106J
217G0R7BGE11106J
217G3R4BGE11106J
217G017BGE11106J
217G007BGE11106J
217G035BGE11106J
217G138BGE11106J
美國Setra西特217型壓力變送器專為模塊式 “Block" 氣體棒和面板設計,非常適合惡劣環(huán)境(例如冷氣流導致的溫度瞬變下的壓力測量應用于·模塊式“Block"氣體棒和面板·高純度氣體輸送系統(tǒng)半導體過程工具。
特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度 7 Ra
·1×10-9 ATM.CC/sec 級別的氨滲漏實驗
·出色的穩(wěn)定性,避免停機
·可選帶 C 型或 W 型密封的壓力端口
·抗電磁干擾 / 射頻干擾,可防止誤停機
·易于吹掃
·符合 CE 和 RoHS 標準要求
模塊式“Block"氣體棒和面板·高純度氣體輸·半導體過程工具
217 型壓力變送器可選帶 C 型或 W 型密封的朝下安裝的壓力
端口,帶有易于吹掃的小型傳感器腔室。所有接液部件均采
用 VIM/VAR 316L 不銹鋼制造,且表面鈍化拋光至 5 Ra(
大 7 Ra),確保表面平整且耐化學腐蝕,實現(xiàn)無污染氣體輸送。
每個傳感器都采用質(zhì)譜儀進行了 1 x 10-9 ATM.CC/sec 級別的
氦滲漏試驗。
217 型壓力變送器可選 5 VDC、 10 VDC 或 4-20 mA 三種
輸出類型,并提供多種標準電氣接口。頂部外側(cè)帶有零點
和量程調(diào)整裝置,進一步體現(xiàn)了設計,適合所有朝下
安裝的 UHP(超高純)壓力測量應用。 217 型同時也是
一款獲磚利的可變電容傳感器,采用 316L 不銹鋼隔膜和
絕緣電極板,可變電容在傳感器本體與電極板之間形成。
當氣體壓力提升時,隔膜會變得略圓,使電容減小。傳感
器將檢測到電容變化,并基于磚利的電荷平衡原理,通過
Setra定制集成電路將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流
電信號。
Setra 所有的超高純系列產(chǎn)品都基于 Setra 成熟的電容傳
感技術制造,能提供幾乎不受 EMI/RFI 干擾的高精度、穩(wěn)
定的電壓或電流輸出信號。
性能數(shù)據(jù)
jing確RSS*(恒定溫度下)±0.25%全量程或讀數(shù)±1.0%
非線性,BFSL±0.15%全量程
滯后0.20%全量程
非重復性0.02%全量程
熱效應**
補償范圍oF(℃)+15到+150(-9到+65)
零點漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8)
范圍漂移%FS/100oF(50℃)2.0(1.8)
*非線性、非重復性和遲滯的RSS(和方根)值。
**在額定70oF下校驗過的設備。根據(jù)此數(shù)據(jù)而計算的**溫度誤差。
環(huán)境數(shù)據(jù)
溫度
工作溫度*oF(℃)-40到+185(-40到+85)
儲存溫度oF(℃)-40到+185(-40到+85)
*工作溫度僅是電子設備的溫度Ji限。受壓媒介的溫度可能要高或低很多。
物理描述
外殼不銹鋼
電氣連接6ft.多芯電纜,Bayonetor
D-型接頭
壓力接頭下安裝“C"密封
通風通過零點和范圍接近螺釘
重量6.5oz(184g)
電氣數(shù)據(jù)(電壓)
電路3根導線(Exc、Out、Com)
激勵10至30VDC(5VFSO)
13至30VDC(10VFSO)
輸出*0至5VDC或0.2至5.2VDC**
0至10VDC或0.2至10.2VDC**
電流消耗<8mA
*校準精度為50Kohm負荷,可操作5000ohm或更大的負荷。
**零點輸出的出廠設置在±25mV之內(nèi)(限5VDC輸出)
或±50mV(限10VDC輸出)。
**范圍(全量程)輸出的出廠設置在±25mV之內(nèi)
(限5VDC輸出)或±50mV(限10VDC輸出)。
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