DFS8960-表面平坦機(jī)-DISCO Corporation

參考價(jià)	面議

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

適用于300mm以下的全自動(dòng)平坦化加工設(shè)備Φ300mm2axes,2chucktablesPlanarization通過金剛石刨刀實(shí)現(xiàn)超精密平坦化技術(shù)將金屬等延展性材料或樹脂等復(fù)合材料進(jìn)行高精度的平坦化加工，解決因凸塊等高度偏差或表面粗糙而引起的問題

詳細(xì)介紹

適用于Φ300 mm以下的全自動(dòng)平坦化加工設(shè)備

Φ300 mm
2 axes, 2 chuck tables
Planarization

通過金剛石刨刀實(shí)現(xiàn)超精密平坦化技術(shù)

將金屬等延展性材料或樹脂等復(fù)合材料進(jìn)行高精度的平坦化加工，解決因凸塊等高度偏差或表面粗糙而引起的問題。

加工物材質(zhì)的可加工性

	金屬	樹脂	其他
加工　易	Au Cu 錫焊料	光刻膠（正性、負(fù)性）　聚亞胺	左述材質(zhì)的復(fù)合材料
加工　難	Ni(電解) Fe	含有填充料的樹脂	Si 玻璃陶瓷

※實(shí)際的可加工性因加工物而異。本公司銷售部門。

加工事例

凸塊的平坦化

減少了用于新一代SiP等的Au凸塊的高度偏差，實(shí)現(xiàn)低壓（低溫· 低負(fù)荷）Au-Au鍵合。

平坦化前

凸塊高低差	1.7 µm
凸塊表面粗糙度（Rz）	1.373 µm

平坦化后

凸塊高低差	0.5 µm
凸塊表面粗糙度（Rz）	0.039 µm

LED熒光體的平坦化

LED熒光體樹脂的厚度偏差是造成LED光照不均勻的原因。利用金剛石刨刀將樹脂和凸塊進(jìn)行高精度的平坦化，有助于LED顯色的穩(wěn)定

表面研磨保護(hù)膠帶的平坦化

含有高凸塊等產(chǎn)品的表面落差較大的晶圓在背面研削后，晶圓面內(nèi)的厚度偏差將會(huì)變大。在研削前通過金剛石刨刀去除表面保護(hù)研磨膠帶的凹凸，可提高研削后的晶圓平坦度。

技術(shù)規(guī)格

Specification		Unit
Workpiece size		-	Φ300 mm
Number of spindles		-	2
Number of chuck tables		-	2
Transport/Cleaning		-	With
Process precision	TTV	µm	Less than 3.0
	5 x 5 mm die bump height variation	µm	Less than 1.0
	surface roughness	µm	Within Ra 0.02
Machine dimensions (W × D × H)		mm	1,400 x 3,312 x 1,870
Machine weight		kg	Approx.5,000

※為了改善，機(jī)器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預(yù)先通知用戶的情況下實(shí)施變更。
※使用時(shí)，請(qǐng)先確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格書。

Product Lineup



Machine type
Spindle
C/T
Machine dimentions（W × D × H）
Machine weight（kg）


DAS8920	DAS8930	DFS8910
半自動(dòng)	半自動(dòng)	全自動(dòng)
1	1	1
1	1	1
500 × 1,235 × 1,800	730 × 1,570 × 1,870	1,200 × 2,670 × 1,800
800	1,600	2,400