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    迴轉(zhuǎn)型磨床 - 半導(dǎo)體晶圓加工機(jī)(半導(dǎo)體晶圓減薄研磨機(jī))

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    更新時間:2022-04-07 14:00:52瀏覽次數(shù):268次

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    型號JL-200SCG300SCGII工作臺直徑?200?300機(jī)器配置1支主軸/1個旋轉(zhuǎn)工作臺1支主軸/1個旋轉(zhuǎn)工作臺主軸型式氣靜壓主軸氣靜壓主軸主軸數(shù)量(mm)11伺服馬達(dá)功率3
    型號 JL-200SCG 300SCGII
    工作臺直徑 ?200 ?300
    機(jī)器配置 1支主軸 / 1個旋轉(zhuǎn)工作臺 1支主軸 / 1個旋轉(zhuǎn)工作臺
    主軸    
    型式 氣靜壓主軸 氣靜壓主軸
    主軸數(shù)量(mm) 1 1
    伺服馬達(dá)功率 3.7 kw 15
    刀具 ?250 (mm) 鑽石砂輪 ?350 (mm) 鑽石砂輪
    轉(zhuǎn)速(rpm) Min1000 ~ Max 3000 rpm Min1000 ~ Max 3000 rpm
    Z 軸    
    行程 100 mm 200
    進(jìn)給解析度 0.1μm 0.1μm
    快速移動速度 300 mm / min 300 mm / min
    工作臺    
    行程 氣靜壓工作臺 氣靜壓工作臺
    工作臺數(shù) 1 1
    轉(zhuǎn)速 500 rpm 500 rpm
    工作臺面積(mm) φ200 mm φ300 mm
    承載重量 15 kg 20 kg
    尺寸    
    機(jī)器重量(Kgs) 2000 kg 3000kgs
    機(jī)器作業(yè)空間 (長×寬x高) 1000 (W)×1700 (D)×2100 (H) mm 1000 (W)×1700 (D)×2100 (H) mm
    加工精度    
    TTV
    表面粗度
    1.5 μmRa
    0.02μm(矽晶圓)
    1.5 μm/Ra
    0.02μm( 矽晶圓)

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