技術(shù)特點：

1.        采用靜承+氣浮軸承，可靠性更高；

2.        氣浮軸承兼具密封功能，密封氣流開啟時液壓油無泄漏；

3.        采用水溶性液壓油，可用純水清洗；

4.        轉(zhuǎn)臺臺面直徑250毫米，配備真空吸盤后可用于12吋Sic晶圓磨削；

5.        高剛度：主軸軸向剛度大于1000 N/µm，轉(zhuǎn)臺軸向剛度大于3000 N/µm；

6.        高精度：主軸、轉(zhuǎn)臺軸向/徑向回轉(zhuǎn)精度< 0,25µm；

7.        具備優(yōu)秀的減振特性，成品率更高 ；

8.        靜承無磨損，機床精度長期保持；

9.        靜承采用的PM流量控制器調(diào)節(jié)油腔流量，高承載，高剛度 。