TS-PL15MA-15L晶圓刻蝕機(jī)-深圳市東信高科自動化設(shè)備有限公司

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詳細(xì)介紹

晶圓刻蝕機(jī)高配版：TS-PL15MA/P

1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極：平板氣浴電極，材質(zhì)6061-T6鋁合金
功率電極：1
接地電極：1
3. 電極尺寸：230mm *230mm（可處理產(chǎn)品尺寸，可處理8寸晶圓）
4. 頻率：13.56MHz
5. 功率：0-300W連續(xù)可調(diào)，可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)。
6. 氣體控制：MFC質(zhì)量流量計(jì)， 0-500ml 2路氣體
7. 真空度測量儀器： 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)（SMC）
8. 控制方式：7寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能：界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)
10.設(shè)備規(guī)格尺寸：長600mm 寬600mm 高700mm
11.電極板配置：配備3個(gè)卡槽位（接地電極），極板間距離可調(diào)整，可按需求調(diào)整極板位置

晶圓刻蝕機(jī)標(biāo)配版：TS-PL15MA

1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm
2.電極：平板氣浴電極，材質(zhì)6061-T6鋁合金
功率電極：1
接地電極：1
3. 電極尺寸：230mm *230mm（可處理產(chǎn)品尺寸，可處理8寸晶圓）
4. 頻率：13.56MHz
5. 功率：0-300W連續(xù)可調(diào)，可在設(shè)備運(yùn)行中隨時(shí)調(diào)整參數(shù)。
6. 氣體控制：精密針閥式浮子流量計(jì)， 0-1000ml 2路氣體
7. 真空度測量儀器： 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)（SMC）
8. 控制方式：4.3寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式
9. 控制軟件功能：界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài)
10.設(shè)備規(guī)格尺寸：長600mm*寬600mm*高700mm
11.電極板配置：配備3個(gè)卡槽位（接地電極），極板間距離可調(diào)整，可按需求調(diào)整極板位置