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詳細(xì)介紹
基本參數(shù)
應(yīng)用行業(yè)電源頻率 40KHz/13.56MHz 容量 30L 功率 0~500W（可調(diào)） 腔體尺寸(mm) 300*300*300 處理層數(shù) 7 外形尺寸(mm) 650W*700D*1400H 真空泵 油泵/干泵+羅茨組合 真空度 5~100Pa（可調(diào)） 腔體材質(zhì) 316不銹鋼/進(jìn)口鋁合金（選配） 氣體流量控制 0~500SCCM(MFC±2%) 氣體通道 兩路(可增加)：Ar/N2/H2/CF4/O2 等離子體發(fā)生器 40KHz/13.56MHz(選配) 腔體溫度 ＜30度 控制方式 PLC+觸摸屏 系統(tǒng)控制軟件 自主研發(fā) 電極陶瓷 進(jìn)口高頻陶瓷
產(chǎn)品特點(diǎn)
真空等離子清洗機(jī)腔體、電源、真空泵等各類配件可以按照實(shí)際清洗的材料自由定做，與常壓等離子相比，具有清洗工藝參數(shù)自由調(diào)節(jié)、溫度低，清洗全面等特點(diǎn)。
廣泛應(yīng)用于活化，退鍍，改性，蝕刻，提升附著力和清洗等等功能。該設(shè)備也是目前清洗行業(yè)，，有效性好的理想設(shè)備
主要功能：蝕刻：對(duì)于光致抗蝕劑聚酰亞膠的殘留和以硅化物為基本成分的涂層等材料的清除很有用粘附提升：往基質(zhì)上添加活化能力強(qiáng)的化學(xué)基團(tuán)以提高其粘合劑的黏著度。
清洗：清除材料上的光學(xué)物質(zhì)的污染以及清除有機(jī)物殘留，氧化和金屬鹽等對(duì)材料的污染。
活化：能使處理基材表面生成所需化學(xué)極鍵；退鍍：使被處理基材除去金屬等材料，制作各種產(chǎn)品。
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