01 激光干涉儀

LM-20激光干涉儀以氦氖激光器產(chǎn)生的激光波長(zhǎng)為基礎(chǔ)，應(yīng)用高穩(wěn)定度的激光穩(wěn)頻率技術(shù)，獲得作為測(cè)量基準(zhǔn)的高精度激光波長(zhǎng)；同時(shí)使用高精度溫度、大氣壓力、濕度傳感器進(jìn)行測(cè)量環(huán)境的補(bǔ)償；并通過(guò)與外部光學(xué)鏡組配合，實(shí)現(xiàn)高精度、可重復(fù)、可溯源的相關(guān)幾何參數(shù)精度測(cè)量，是數(shù)控機(jī)床和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密設(shè)備校準(zhǔn)的理想工具。LM-20激光干涉儀延續(xù)GDLM-10激光干涉儀的高精度測(cè)量性能，同時(shí)優(yōu)化了機(jī)械結(jié)構(gòu)和使用性能。

04 產(chǎn)品特點(diǎn)1

高測(cè)量速度；4m/s的測(cè)量速度，滿足幾乎所有的測(cè)量應(yīng)用。

快速啟動(dòng)：約6分鐘的啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間，便于測(cè)量現(xiàn)場(chǎng)的快速使用。

長(zhǎng)測(cè)量距離：長(zhǎng)達(dá)20m的測(cè)量能力，滿足大多數(shù)的測(cè)量要求。

05 產(chǎn)品特點(diǎn)2

高測(cè)量分辨率：可選的測(cè)量分辨率，1nm。

觸發(fā)式測(cè)量：適合在待測(cè)機(jī)器移動(dòng)時(shí)記錄測(cè)量值，測(cè)量效率高。

多種國(guó)際分析標(biāo)準(zhǔn)供選擇：方便用戶選擇自己需要的分析標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)行多種分析。

06 核心組件（激光頭）

激光的穩(wěn)頻，發(fā)射接收及相關(guān)后續(xù)處理；環(huán)境傳感器數(shù)據(jù)的接收，上位機(jī)軟件的交互。

07 核心組件（環(huán)境傳感器）

用于測(cè)量環(huán)境溫度，材料溫度，環(huán)境濕度及大氣壓力；測(cè)量得到的環(huán)境數(shù)據(jù)用于干涉儀的精密補(bǔ)償。

08 核心組件（測(cè)量鏡組）

1、線性鏡組：用于進(jìn)行線性測(cè)量的光學(xué)套件；

2、角度鏡組：用于進(jìn)行角度及旋轉(zhuǎn)測(cè)量的光學(xué)套件。

09 相關(guān)組件