激光尺-傳感系統(tǒng)-科德數(shù)控股份有限公司

激光尺

01 LE系列激光尺
LE系列激光尺采用激光干涉測(cè)量技術(shù)，以高穩(wěn)定度的激光波長為基準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)高精度、高分辨率的直線位移測(cè)量；
LE系列激光尺采用*的熱控制穩(wěn)頻技術(shù)將激光穩(wěn)頻精度保持在±0.05ppm。精確穩(wěn)定的激光源和精準(zhǔn)的環(huán)境補(bǔ)償，保證±0.5um/m的測(cè)量精度；
LE系列激光尺可以實(shí)現(xiàn)長達(dá)20m的精確測(cè)量，在長距離測(cè)量應(yīng)用上有突出的優(yōu)勢(shì)；4m/s的測(cè)量速度，可滿足幾乎所有的測(cè)量應(yīng)用；測(cè)量分辨率可配置，為1nm。

02 應(yīng)用案例及領(lǐng)域
科德數(shù)控股份有限公司生產(chǎn)的KGHM2560U高速橋式龍門機(jī)床，X軸全行程6m，配置LE系列激光尺作為全閉環(huán)反饋，定位精度達(dá)到6um，重復(fù)定位精度達(dá)到3um；
LE系列激光尺可用于精密機(jī)床、半導(dǎo)體精密加工設(shè)備、測(cè)量機(jī)等其他需要高精度直線位置反饋的應(yīng)用場(chǎng)合。

項(xiàng)目	名稱	參數(shù)
性能參數(shù)	激光頻率穩(wěn)定度線性定位精度分辨率測(cè)量速度測(cè)量距離	±0.05ppm ±0.5um/m（±0.5ppm） 1nm 可配置 4m/s 20m
工作條件	工作溫度工作壓力工作濕度	0℃~40℃ 60KPa~120KPa 0%~95% 非冷凝
激光參數(shù)	激光波長激光功率激光穩(wěn)定時(shí)間出射光斑直徑	632.8nm ＜1mw ≈10min 6mm
環(huán)境補(bǔ)償傳感器	環(huán)境溫度測(cè)量精度大氣壓力測(cè)量精度大氣濕度測(cè)量精度材料溫度測(cè)量精度	±0.1℃ ±100Pa ±5% ±0.1℃
電氣特性	電源電壓電源電流調(diào)試接口位置數(shù)據(jù)反饋接口通用I/O接口	24V±10% 2.0A USB RS422/RS485 串行數(shù)據(jù)：BISS_C 增量數(shù)據(jù)：TTL增量方波、1Vpp弦波 24V帶隔離通用I/O點(diǎn)