由于KrF光刻膠產(chǎn)能受限以及晶圓廠積極擴(kuò)產(chǎn)等原因，日本信越化學(xué)已經(jīng)向中國大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光刻膠，甚至已通知部分中小晶圓廠停止供貨KrF光刻膠，國內(nèi)多家晶圓廠將會(huì)面臨KrF光刻膠大缺貨的處境。

多家晶圓廠KrF光刻膠供應(yīng)緊張

半導(dǎo)體光刻膠是光刻過程的關(guān)鍵耗材，光刻膠的質(zhì)量和性能對(duì)光刻工藝有著重要影響，因其技術(shù)壁壘高而長(zhǎng)期被海外大廠所主導(dǎo)，是半導(dǎo)體國產(chǎn)化的一道大坎。目前光刻膠主要企業(yè)有日本合成橡膠（JSR）、東京應(yīng)化（TOK）、住友化學(xué)、信越化學(xué)、陶氏化學(xué)等，占*超過85%。

早在今年2月中旬，日本福島發(fā)生7.3級(jí)地震發(fā)生后，信越化學(xué)KrF光刻膠生產(chǎn)以及海外供貨就受阻，當(dāng)時(shí)下游代理商考慮配合運(yùn)輸與相關(guān)成本提高，調(diào)漲新合約報(bào)價(jià)。

據(jù)行業(yè)人士透露，由于地震原因，信越化學(xué)KrF光刻膠產(chǎn)線受到很大程度的破壞，至今尚未*恢復(fù)生產(chǎn)，在產(chǎn)線受到影響和晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)等多方因素下，信越化學(xué)不得不停止向中國大陸幾家晶圓廠供應(yīng)KrF光刻膠。雖然東京應(yīng)化（TOK）信越化學(xué)海外大部分缺失的KrF光刻膠產(chǎn)能，但目前仍存在不小的缺口。

據(jù)悉，半導(dǎo)體光刻膠被日本合成橡膠（JSR）、TOK、住友化學(xué)、信越化學(xué)，以及美國陶氏化學(xué)所主導(dǎo)。JSR是現(xiàn)在大的，技術(shù)是的光刻膠龍頭，Intel、三星和臺(tái)積電都是JSR核心客戶，I-line、KrF、ArF、EUV光刻膠產(chǎn)品全覆蓋。TOK專注于做光刻膠及配套試劑，在G線、I線，KrF和ArF都有些*。陶氏的光刻膠事業(yè)部已經(jīng)并入杜邦，客戶是Intel、IBM體系，但在大陸*不是很高。信越化學(xué)主要切入點(diǎn)就是從KrF和ArF開始，EUV光刻膠也在開發(fā)，在中國大陸有不少FAB廠客戶。

今年以來，除了臺(tái)積電、三星、英特爾、聯(lián)電等晶圓廠積極擴(kuò)產(chǎn)外，中芯國際、華虹宏力、廣州粵芯等多家本土晶圓廠積極擴(kuò)產(chǎn)和產(chǎn)能釋放，這也就導(dǎo)致國內(nèi)光刻膠需求量遠(yuǎn)大于本土產(chǎn)量，且差額逐年擴(kuò)大，尤其是在KrF、ArF等半導(dǎo)體光刻膠。

然而，截至目前，國內(nèi)能夠批量供應(yīng)KrF、ArF光刻膠的廠商卻為數(shù)不多。根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，日本幾大廠商在g線/i線、KrF、ArF膠市場(chǎng)中*分別為61%、80%、93%，而國內(nèi)g線/i線自給率約為20%，KrF光刻膠的自給率不足5%，12寸硅片的ArF光刻膠目前尚無國內(nèi)企業(yè)可以大規(guī)模生產(chǎn)。