世界上能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的企業(yè)，只有荷蘭的阿斯麥ASML，而世界上能夠生產(chǎn)光刻機(jī)的企業(yè)卻并非只有阿斯麥，日本的尼康、佳能，我們的上海微電子，都可以生產(chǎn)光刻機(jī)，而現(xiàn)在，能夠生產(chǎn)EUV的企業(yè)可能要發(fā)生變化了，因?yàn)楝F(xiàn)在有企業(yè)準(zhǔn)備組團(tuán)攻克EUV光刻機(jī)技術(shù)了！

日本光刻機(jī)

原本的光刻機(jī)市場是日本尼康、佳能的天下，但是ASML在2007年實(shí)現(xiàn)對(duì)這兩家日本企業(yè)超越之后，日本就失去了在光刻機(jī)領(lǐng)域的地位。

現(xiàn)在，要想實(shí)現(xiàn)EUV光刻機(jī)的突破，日本企業(yè)也并非不可能，首先在光源方面，日本有著屬于自己的優(yōu)勢，日本光源公司Gigaphoton和曾經(jīng)的Cymer公司（ 現(xiàn)在已經(jīng)被ASML收購）為兩大曝光機(jī)用光源制造商，據(jù)悉，現(xiàn)在Gigaphoton正在開發(fā)EUV光刻光源。

而東芝集團(tuán)旗下的NuFlare Technology、日本電等企業(yè)也正在電子束掩膜光刻設(shè)備領(lǐng)域開展合作，研制可以發(fā)射26萬束激光的設(shè)備。

據(jù)悉，三大半導(dǎo)體設(shè)備制造商?hào)|京電子已經(jīng)計(jì)劃投入近80億元用于EUV設(shè)備的研發(fā)，而為了進(jìn)一步加強(qiáng)其自身在EUV設(shè)備領(lǐng)域地位，東京電子也計(jì)劃進(jìn)行超過800億元的投入。

曾經(jīng)光刻機(jī)的發(fā)展，日本企業(yè)屬于主力，即便是現(xiàn)在被阿斯麥壓得喘不過來氣，但是，日本企業(yè)依舊沒有放棄在EUV光刻機(jī)領(lǐng)域進(jìn)取的野心，主要原因還是在于光刻機(jī)對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展太重要了，而且利潤豐厚，早已經(jīng)在該領(lǐng)域嘗了甜頭的日本，自然不甘心長期落后于阿斯麥，所以多家企業(yè)目標(biāo)直指EUV光刻機(jī)也不足為奇！

對(duì)于我們來說，發(fā)展光刻機(jī)，尤其是EUV光刻機(jī)，也是非常有必要的，其中一個(gè)方面，大家現(xiàn)在都知道了，光刻機(jī)已經(jīng)成為了阻礙國產(chǎn)芯片制造業(yè)的主要障礙，除此之外，還有非常重要的一個(gè)原因：EUV光刻技術(shù)所帶來的巨大的芯片制造設(shè)備產(chǎn)業(yè)價(jià)值。

據(jù)悉，有調(diào)研機(jī)構(gòu)通過統(tǒng)計(jì)發(fā)現(xiàn)，EUV技術(shù)每年能夠?yàn)樾酒圃煸O(shè)備市場帶來將近4000億元的價(jià)值。加上本身所代工的產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，價(jià)值還要高于這個(gè)數(shù)據(jù)。

既是當(dāng)務(wù)之急，也是市場所需，發(fā)展國產(chǎn)EUV光刻機(jī)，時(shí)不我待！