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當前位置：沈陽科晶自動化設備有限公司>>橢偏儀>> SE-VM光譜橢偏儀
| 參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號
品 牌 沈陽科晶/KEJING
廠商性質生產(chǎn)商
所 在 地
聯(lián)系方式：張先生查看聯(lián)系方式
更新時間：2021-03-15 15:44:00瀏覽次數(shù)：388次
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產(chǎn)品簡介：SE-VM 是一款高精度快速測量光譜橢偏儀。可通過橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量，快速實現(xiàn)光學參數(shù)薄膜和納米結構的表征分析，適用于薄膜材料的快速測量表征。支持多角度，微光斑，可視化調平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置，多功能模塊定制化設計。
高精度橢偏測量解決方案；超高精度、快速無損測量；支持多角度、微光斑、可視化調平系統(tǒng)功能模塊靈活定制；豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結構模型庫，保證強大數(shù)據(jù)分析能力。
廣泛應用于鍍膜工藝控制、tooling校正等測量應用,實現(xiàn)光學薄膜、納米結構的光學常數(shù)和幾何特征尺寸快速的表征分析。
產(chǎn)品型號 | SE-VM光譜橢偏儀 | ||
主要特點 | 1、采用高性能進口復合光源，光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm) 2、高精度旋轉補償器調制、PCRSA配置，實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集 3、支持系列配置靈活，可根據(jù)不同應用場景支持多功能模塊化定制 4、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫，涵蓋了目前絕大部分的光電材料 | ||
技術參數(shù) | 1、自動化程度：手動變角 2、應用定位：通用型 3、基本功能：Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜 4、分析光譜380-1000nm(可擴至210-1650nm) 5、單次測量時間：0.5-5s 6、重復性測量精度：0.01nm 7、光斑大小：大光斑2-3mm,微光斑200μm 8、入射角調節(jié)方式：手動變角 9、入射角范圍：55-75°(5°步進),90° 10、找焦方式：手動找焦 11、Mapping行程：不支持 12、支持樣件尺寸：大至180mm | ||
可選配件 | 1 | 溫控臺 |
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2 | Mapping擴展模塊 |
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3 | 真空泵 |
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4 | 透射吸附組件 |
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