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步距規(guī)的精度
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一般認(rèn)為，量塊是*高精度的實物標(biāo)準(zhǔn)。量塊可以相互研和，組成一定長度標(biāo)準(zhǔn)，但是將幾十個量塊研和在一起，組成一個高精度的尺寸列是十分困難的，即使在一定的技術(shù)裝備幫助下，可以將幾十個量塊研和在一起，在將研和好的量塊組合體裝入步距規(guī)的基體時，也很容易破壞研和狀態(tài)，進而影響步距規(guī)尺寸列的精度。除此之外，壓緊塊對量塊組合體的壓緊力，溫度變化等因素也影響步距規(guī)的精度。
1、影響步距規(guī)精度的因素
步距規(guī)的一個長度尺寸可以公式1表達：
L= l0+Δl1+Δl2+Δl3（1）
式中，L為步距規(guī)某一尺寸的實際長度；l0為組成步距規(guī)某一尺寸的量塊的理想長度；Δl1為量塊的偏差值；Δl2為量塊組合體平行性導(dǎo)致的偏差值；Δl3為溫度導(dǎo)致的長度偏差。
（1）量塊的偏差值Δl1
量塊的偏差是由量塊檢定的不確定度產(chǎn)生的。3等量塊的檢定不確定度是（0.1+ L）μm，如果使用60個10mm的量塊組成600mm長的步距規(guī)，這個長度的偏差為：
Δl1= = 0.85μm （2）
（2）量塊組合體平行性導(dǎo)致的偏差值Δl2
由于研和、裝配的原因，步距規(guī)量塊工作面不可能平行。一般情況下，步距規(guī)量塊的可使用面積是10mm× 10mm，如果將這個面積上平行度*大偏差控制在3μm以內(nèi)，而量塊的實際使用面積控制在3mm× 3mm，則量塊組合體平行性導(dǎo)致的偏差值：Δl2≈ 1.0μm （3）
（3）溫度導(dǎo)致的長度偏差Δl3
步距規(guī)所使用的陶瓷量塊具有熱膨脹特性，其熱膨脹系數(shù)約4× 10-6K-1。對于600mm長的步距規(guī)每溫度變化1K所引起的長度偏差為：Δl3= 2.4μm （4）
以上三個影響步距規(guī)精度的因素中，量塊的偏差值Δl1是由于量塊檢定不確定度而產(chǎn)生的，不能避免和減少；量塊組合體平行性導(dǎo)致的偏差值Δl2是由于量塊研和及步距規(guī)組裝過程所產(chǎn)生的，這項偏差可以通過不斷改進步距規(guī)的制造工藝而逐步減小；溫度導(dǎo)致的長度偏差Δl3是由于材料的熱膨脹特性所產(chǎn)生的，這項偏差可以通過改善步距規(guī)使用的環(huán)境條件，和使用溫度傳感器測量工作溫度，根據(jù)材料的熱脹系數(shù)對長度尺寸進行補償而減小。
2、步距規(guī)的穩(wěn)定性
由于步距規(guī)的基體是由花崗石制造的，因此在整體上有很好的剛性和穩(wěn)定性，在使用過程中步距規(guī)不像量塊那樣嬌氣，甚至可以像對機械部件一樣對它進行裝卡。但是步距規(guī)也有薄弱環(huán)節(jié)，由于結(jié)構(gòu)原理和設(shè)計的原因，步距規(guī)的基體與量塊組合體之間有一定的間隙，量塊組合體在這個間隙范圍內(nèi)具有一定的自由度，在一定外部條件影響下量塊組合體可能會發(fā)生一些變化，進而影響步距規(guī)的精度。解決這個問題有兩個辦法，一是在步距規(guī)的基體與量塊組合體之間的間隙內(nèi)加入彈性介質(zhì)，其作用是對量塊組合體的移動和變化有一定的限制，同時不約束其自由度；另外一個辦法是改變結(jié)構(gòu)設(shè)計，使量塊組合體避免外力的作用，具體結(jié)構(gòu)可能會很多，設(shè)計人員可以通過創(chuàng)造力自行設(shè)計。
步距規(guī)的校準(zhǔn)
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由于步距規(guī)是使用廣泛的高精度實物標(biāo)準(zhǔn)器，因此能否校準(zhǔn)這種計量器具是衡量幾何量校準(zhǔn)實驗室能力的重要標(biāo)志。國際（BIPM）把步距規(guī)列入了國際比對項目，我國是比對參加國之一。長度處螺紋/坐標(biāo)實驗室除了開展日常的步距規(guī)校準(zhǔn)工作，還承擔(dān)步距規(guī)的國際比對任務(wù)。
1、測量設(shè)備和環(huán)境條件
根據(jù)實驗室現(xiàn)有條件，步距規(guī)的校準(zhǔn)可以通過兩種方法完成，一種方法是使用LeitzPMM12106坐標(biāo)測量機對步距規(guī)的尺寸直接進行測量；另一種方法是結(jié)合使用坐標(biāo)機和美國惠普公司的5529雙頻激光干涉儀對步距規(guī)進行測量。實驗室共有8個房間，其中有兩個房間的環(huán)境溫度設(shè)計指標(biāo)為（20± 0.2）℃ ，其余房間的環(huán)境溫度設(shè)計指標(biāo)為（20± 1）℃ ，步距規(guī)的校準(zhǔn)是在環(huán)境溫度為（20± 0.2）℃的房間內(nèi)進行的。
2、測量過程和測量不確定度
（1）單獨使用坐標(biāo)機的測量過程和測量不確定度
將步距規(guī)沿坐標(biāo)機長軸放置，適當(dāng)卡緊。以步距規(guī)基面定位塊的一個平面、基體的一個側(cè)面和步距規(guī)上部任意一點為元素，在步距規(guī)上建立三維笛卡兒坐標(biāo)系。坐標(biāo)機接觸式測頭對步距規(guī)上的量塊工作面進行測量，每個平面測5點，計算機計算出量塊平面之間的距離和平面之間的平行性，量塊之間的距離和平行性是評價步距規(guī)的兩個指標(biāo)參數(shù)。這種測量方法的測量不確定度主要有坐標(biāo)機的長度測量示值誤差、溫度傳感器的精度、環(huán)境條件等因素，這種方法的總測量不確定度約為：U=（0.6+ L/600）μm，K= 2。
（2）結(jié)合使用坐標(biāo)機和激光干涉儀的測量過程和測量不確定度
將激光干涉儀的反射鏡和步距規(guī)裝卡在坐標(biāo)機移動工作臺上，調(diào)整光路，使激光光路與工作臺的移動方向平行。Leitz坐標(biāo)測量機的測頭有一個特性，就是可以在鎖緊按鈕時，以一個恒定的偏移靠在被測物體表面，步距規(guī)的校準(zhǔn)就是利用坐標(biāo)測量機的這個特性，依次將測頭靠在步距規(guī)量塊的測量點上，讀入激光干涉儀的示值，換句話說就是，使用坐標(biāo)測量機對步距規(guī)的每個測量面進行瞄準(zhǔn)，通過激光干涉儀的指示值進行示值測量。為了提高測量準(zhǔn)確度，我們使用了高準(zhǔn)確度的氣壓計、溫度計對波長進行修正。通過計算機將這些儀器與5528激光干涉儀連機，實現(xiàn)了自動實時補償。影響這種測量方法不確定度的因素有坐標(biāo)機測頭穩(wěn)定性、激光干涉儀的測長不確定度、坐標(biāo)機移動工作臺移動的角擺和直線性、環(huán)境條件等因素。
根據(jù)計算和實驗得出這種測量方法的測量不確定度約為：U=（0.4+ 0.4L/1000）μm，K= 2。
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