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輪廓形狀測(cè)定機(jī)REF100產(chǎn)品參數(shù)
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測(cè)定范圍 | 土12mm、150°對(duì)基準(zhǔn)圓的范圍 |
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基準(zhǔn)圓半徑 | R3.5mm |
回轉(zhuǎn)精度 | 2um以下 |
最小取樣間隔 | 10,000點(diǎn)/回轉(zhuǎn) |
觸針/測(cè)定力 | R30um 100mN以下 |
測(cè)定倍率 | 10~50倍 |
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