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輪廓形狀測(cè)定機(jī)EF651D產(chǎn)品參數(shù)
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| 測(cè)定范圍 | Z:60mm X:100mm |
|---|---|
| 測(cè)定精度 | 士(0.8+2H/100)um |
| 觸針/測(cè)定力 | R25um 30mN以下 |
| 測(cè)定角度 | 上坡77° 下坡87° |
| 解析 | 要素解析/方位向量/MASTER比較/ 滾珠螺桿/非球面解析 |
| 分解能 | Z:0.025um |
| 直線度精度 | 1.0um/100mm |
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