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輪廓形狀測(cè)定機(jī)EF550A-G18/EF550A-G18D 產(chǎn)品參數(shù)
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| 測(cè)定范圍 | Z:60mm X: 100mm |
|---|---|
| 測(cè)定精度 | Z:土025%/滿刻度 |
| 分解能 | X:0.1um/Z:0.5um |
| 測(cè)定倍率 | 縱橫均力1~200倍 |
| 上下動(dòng)范圍 | 200mm |
| 直線度精度 | 1.0um/100mm |
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