 機械結(jié)構(gòu)采用單邊橋式，綜合了橋移動式機型和龍門式機型兩種結(jié)構(gòu)的優(yōu)點，減輕了運動件的重量，大幅減小了機器的阿貝誤差；

 工作臺、橫梁和Z軸均采用天然黑色花崗巖精細(xì)研磨而成，熱膨脹系數(shù)低，溫變小。并使三軸保證相同的熱力學(xué)狀態(tài)，隨溫度成線性變化，避免了測量空間的形變、扭曲，保證了整機空間結(jié)構(gòu)的線性和穩(wěn)定性；

 X與Y軸測量系統(tǒng)布置在同一層面上，以使空間溫差的影響達到最小；

 全封閉的三軸設(shè)計結(jié)構(gòu),預(yù)應(yīng)力空氣軸承環(huán)抱式設(shè)計，軸承系統(tǒng)采用自清潔配以小孔節(jié)流技術(shù)，保障三軸導(dǎo)軌的高剛性和大承載能力，保障零磨損和流暢的操作；

 有限元分析模塊化設(shè)計結(jié)構(gòu)，確保穩(wěn)定性的同時對于操作和維護極其方便；整機一體式設(shè)計，提高了機器的抗震性和機械精度，并確保了機器設(shè)備的動態(tài)性和長期穩(wěn)定性。