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    美得龍(上海)貿(mào)易有限公司
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    高真空度等級適用型傳感器[GN系列]

    參  考  價(jià)面議
    具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

    產(chǎn)品型號

    品       牌

    廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

    所  在  地

    聯(lián)系方式:ji lingyan查看聯(lián)系方式

    更新時(shí)間:2021-09-07 11:26:16瀏覽次數(shù):264次

    聯(lián)系我時(shí),請告知來自 機(jī)床商務(wù)網(wǎng)
    同類優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品更多>
    僅用低排氣零件生產(chǎn)的高真空環(huán)境專用定位傳感器。 在真空蒸鍍裝置、濺鍍裝置內(nèi)的晶片、掩膜定位用途中,廣泛為大型半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備制造商所采用。

    機(jī)型一覽

    代表型號名稱 動(dòng)作形態(tài) 電線方向 下載
    GN-PT5M3A A : NO 直型
    產(chǎn)品目錄
    (PDF)

    2D CAD
    GN-PT5M3B B : NC
    GN-PT5M3A-R A : NO 直角(-R)
    GN-PT5M3B-R B : NC

    電氣規(guī)格| 選購件/使用注意事項(xiàng)| 技術(shù)指南

    主要規(guī)格

    接點(diǎn)構(gòu)造 接點(diǎn)型
    動(dòng)作形態(tài) A : NO /B:NC
    動(dòng)作點(diǎn)的重復(fù)精度 ON?OFF均為0.003mm(范圍)常溫使用時(shí)的數(shù)值
    適用真空度/容許烘焙溫度 10-5Pa / 120℃
    預(yù)行程 無(請用信號的切換點(diǎn)調(diào)整傳感器的安裝位置)
    遲滯 0
    機(jī)械壽命 300萬次
    行程 1.5mm
    接觸力 0.5N
    接點(diǎn)額定值 DC5V~DC24V 穩(wěn)態(tài)電流10mA以下(沖擊電流20mA以下)

    應(yīng)用

    真空室

    檢測有無半導(dǎo)體晶片

     

    真空制膜裝置

    玻璃基板的定位確認(rèn)

     

    太陽能發(fā)電(PV)真空裝置

    玻璃基板的定位確認(rèn)

     

    FPD真空制膜裝置

    玻璃基板的對準(zhǔn)

     

    FPD真空制膜裝置

    掩膜托盤的就位檢測

     

    FPD真空制膜裝置

    載體的起動(dòng)確認(rèn)

     

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