僅用低排氣零件生產(chǎn)的高真空環(huán)境專用定位傳感器。 在真空蒸鍍裝置、濺鍍裝置內(nèi)的晶片、掩膜定位用途中,廣泛為大型半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備制造商所采用。
機(jī)型一覽
代表型號名稱 | 動(dòng)作形態(tài) | 電線方向 | 下載 |
GN-PT5M3A | A : NO | 直型 | 產(chǎn)品目錄 (PDF) | 2D CAD |
GN-PT5M3B | B : NC |
GN-PT5M3A-R | A : NO | 直角(-R) |
GN-PT5M3B-R | B : NC |
電氣規(guī)格| 選購件/使用注意事項(xiàng)| 技術(shù)指南
主要規(guī)格
接點(diǎn)構(gòu)造 | 接點(diǎn)型 |
動(dòng)作形態(tài) | A : NO /B:NC |
動(dòng)作點(diǎn)的重復(fù)精度 | ON?OFF均為0.003mm(范圍)常溫使用時(shí)的數(shù)值 |
適用真空度/容許烘焙溫度 | 10-5Pa / 120℃ |
預(yù)行程 | 無(請用信號的切換點(diǎn)調(diào)整傳感器的安裝位置) |
遲滯 | 0 |
機(jī)械壽命 | 300萬次 |
行程 | 1.5mm |
接觸力 | 0.5N |
接點(diǎn)額定值 | DC5V~DC24V 穩(wěn)態(tài)電流10mA以下(沖擊電流20mA以下) |
應(yīng)用
真空室
檢測有無半導(dǎo)體晶片
真空制膜裝置
玻璃基板的定位確認(rèn)
太陽能發(fā)電(PV)真空裝置
玻璃基板的定位確認(rèn)
FPD真空制膜裝置
玻璃基板的對準(zhǔn)
FPD真空制膜裝置
掩膜托盤的就位檢測
FPD真空制膜裝置
載體的起動(dòng)確認(rèn)