用于測(cè)量精密零件的表面平面度。
功能特色
·非接觸式測(cè)量
·自主設(shè)置測(cè)量路徑，適用范圍廣
·測(cè)量結(jié)果3D/2D顯示，形象直觀

系統(tǒng)參數(shù)
·測(cè)量范圍：200mm*200mm
·精度：3μm
·測(cè)量速度：20s/片
·采樣頻率：200次/s

TTV測(cè)量系統(tǒng)

用于測(cè)量手機(jī)玻璃，藍(lán)寶石等產(chǎn)品的平面度，厚度，TTV，LTV。

系統(tǒng)參數(shù)

精度：平面度10μm，厚度：0.4μm，TTV：1μm，測(cè)量速度：與測(cè)量路徑有關(guān)，8"wafer約20s/片

TTV/WARP測(cè)量系統(tǒng)
用于測(cè)量硅片，藍(lán)寶石，手機(jī)玻璃以及各種襯底的TTV、Thickness、Warp、Sori、Bow、LTV。
系統(tǒng)介紹
系統(tǒng)采用上下同軸色散共焦傳感器，支持大部分材質(zhì)的wafer厚度平整度量，相比較于電容或電渦流位移傳感器，色散共焦位移傳感器精度更高。

模具監(jiān)視器

用于注塑、焊接、鑄造過(guò)程中對(duì)設(shè)備關(guān)鍵部位的保護(hù)以及對(duì)產(chǎn)品瑕疵的監(jiān)測(cè)。

模具監(jiān)視器，對(duì)特定部位進(jìn)行成像，在每個(gè)生產(chǎn)周期結(jié)束時(shí)對(duì)特定部位再次成像，通過(guò)對(duì)前后兩副圖象的變
化來(lái)判斷是否進(jìn)入下一個(gè)生產(chǎn)周期。

全自動(dòng)影像檢測(cè)系統(tǒng)

一鍵式影像測(cè)量?jī)x，用于測(cè)量各種零件尺寸。

功能特色
一鍵式是指僅需要按一個(gè)按鍵就可以將一個(gè)產(chǎn)品中所需要測(cè)量的尺寸全部測(cè)量出來(lái)。適用于批量產(chǎn)品的尺寸測(cè)量。

系統(tǒng)特點(diǎn)