FP/FPS紫外微加工系統(tǒng)

  FP/FPS紫外微加工xi統(tǒng)產(chǎn)品簡介：

  該設(shè)備是德龍激光憑借自身強(qiáng)大的技術(shù)能力和制程經(jīng)驗(yàn)，成功開發(fā)出的新一代激光精細(xì)加工系統(tǒng)。設(shè)備各部件高效集成，可實(shí)現(xiàn)高精度鉆孔、切割及表面材料刻蝕等加工工藝。

  FP/FPS紫外微加工系統(tǒng)

  FP/FPS紫外微加工xi統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：

  ◆ 光束質(zhì)量優(yōu)異、*工作穩(wěn)定性好；

  ◆ 激光源峰值功率高，可對幾乎任何固體材料實(shí)現(xiàn)精細(xì)加工；

  ◆ *的加工柔韌性，可進(jìn)行任意形狀細(xì)微切割；

  ◆ 加工線寬窄、邊緣品質(zhì)好，熱影響區(qū)域小；

  ◆ 非接觸式加工，無任何接觸應(yīng)力產(chǎn)生，可有效提高樣品加工的品質(zhì)和良率；

  ◆ 旋光鉆孔/切割模組，實(shí)現(xiàn)徑深比1：5；

  FP/FPS紫外微加工xi統(tǒng)性能指標(biāo)：

  ◆ 加工幅面：250mm×250mm（可定制）
  ◆ 波長：1064/532/355nm（波段可選擇，可集成雙光路系統(tǒng)、三光路系統(tǒng)）
  ◆ 聚焦光斑：10-25μm可調(diào)
  ◆ 大運(yùn)行速度 200mm/s（X、Y軸）25mm/s（Z軸）
  ◆ 定位精度 ：±3μm
  ◆ 重復(fù)精度 ：±2μm

  FP/FPS紫外微加工xi統(tǒng)產(chǎn)品應(yīng)用：

  TSV100 微米 小孔                  

  孔側(cè)壁

  金屬材料打孔

  微槽蝕刻