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    半導(dǎo)體工業(yè)硅片晶圓激光切割機(jī)激光劃片機(jī)

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    更新時(shí)間:2021-11-16 17:51:02瀏覽次數(shù):1446

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    產(chǎn)品簡(jiǎn)介

    激光劃片是利用特定性質(zhì)的激光束照射在電池片、硅片表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化,在數(shù)控工作臺(tái)的帶動(dòng)下進(jìn)行激光劃切,從而達(dá)到劃片目的。激光劃片光束能量密度高,劃片結(jié)果表現(xiàn)好,而且其加工是非接觸式的,對(duì)電池片/硅片本身無機(jī)械沖壓力,使得電池片、硅片不易損壞破損。另外,由于激光劃片熱影響較小,劃片精度高,因而被大面積應(yīng)用于光伏行業(yè)太陽(yáng)能電池片、IC半導(dǎo)體工業(yè)的硅片劃片。

    詳細(xì)介紹


    硅片激光切割機(jī) 激光割圓機(jī)1000W 精密激光切割機(jī)35W




    產(chǎn)品名稱:硅片激光割圓機(jī)/激光劃片機(jī)/精密激光切割機(jī)

    型號(hào):KY-C-FC150/250/300/450/500/1000/1500-P/D


    本設(shè)備為一系列機(jī)型,隨著待加工材料厚度/光源功率大小、待加工材料原始長(zhǎng)寬尺寸/工作臺(tái)尺寸、切割精度要求等有不同的機(jī)型結(jié)構(gòu)變化。

    光源選擇上,大部分為中功率連續(xù)型光纖或準(zhǔn)連續(xù)光纖,如果客戶對(duì)割縫邊緣質(zhì)量和整體效果要求更高,建議客戶采用冷光源來處理(尤其是中小厚度的材料);

    結(jié)構(gòu)上,大部分為帶監(jiān)視系統(tǒng)的小型精密工作臺(tái)(滑臺(tái)+精密級(jí)伺服或直線電機(jī))的開放式或帶防護(hù)罩結(jié)構(gòu)。

    籠統(tǒng)來說,本精密激光切割機(jī)是集激光、視覺定位、伺服運(yùn)動(dòng)控制、冷卻恒溫控制、切割軟件及精密機(jī)械技術(shù)為一體的高科技產(chǎn)品。除了應(yīng)用于本案例(IC半導(dǎo)體工業(yè)中的芯片/晶圓激光切割)外,還可應(yīng)用在其他有精密切割要求的場(chǎng)合中,如陶瓷的切割和微孔等。


    設(shè)備常規(guī)組成部分
    1)傳統(tǒng)Nd: YAG激光器或其他新型光源如光纖激光器和全固態(tài)紫外激光器內(nèi)光路系統(tǒng)及其配套激光電源部分;

    2)聚焦外光路系統(tǒng);

    3)數(shù)控系統(tǒng)(常規(guī)含十字滑臺(tái)和伺服控制兩部分)

    4)適應(yīng)工件尺寸和裝夾的工作臺(tái)部分;

    5)計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)(機(jī)箱、主板、CPU、硬盤、內(nèi)存條、運(yùn)動(dòng)控制卡、顯示器、鍵盤、鼠標(biāo)等)。

    6)其它:如冷水機(jī) 和抽煙除塵系統(tǒng)
















    1)整機(jī)模塊化設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)合理,保障設(shè)備性能穩(wěn)定、效率高的同時(shí)安裝和維護(hù)也較為方便簡(jiǎn)潔;
    2)低電流、多產(chǎn)能。工作電流小,速度快,基本做到免維護(hù),無材料損耗,故障率低,運(yùn)行成本低。
    3)連續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)。24小時(shí)不間斷工作。
    4)光源上來講,
    采用風(fēng)冷光纖激光器時(shí),該激光器具備良好的光束質(zhì)量,全功率范圍內(nèi)恒定的BPP,聚焦出的光點(diǎn)細(xì)小,使用長(zhǎng)焦距依然可以獲得很小的光點(diǎn),電光轉(zhuǎn)換效率>30%,運(yùn)行穩(wěn)定。建議預(yù)算較多且對(duì)加工要求比較高的客戶使用。
    而采用脈沖Nd:YAG固體激光器時(shí),工作介質(zhì)是摻釹釔鋁石榴石晶體,泵浦源為氙燈。其輸出激光波長(zhǎng)也為1.064μm,是不可見紅外光。一般建議預(yù)算較為緊湊加工要求不太高的客戶使用。
    5)結(jié)構(gòu)上來說,
    本設(shè)備我們一般采用數(shù)控工作臺(tái)(十字滑臺(tái)和伺服控制)。工作臺(tái)伺服電機(jī)帶動(dòng)工作臺(tái)面分別沿X、Y軸移動(dòng),激光束聚焦后落到被加工的工件上,從而形成了激光刻劃溝槽。
    全封閉機(jī)柜+大理石龍門結(jié)構(gòu)式工作平臺(tái),工作臺(tái)采用X,Y兩軸電動(dòng)平移臺(tái),絲桿,導(dǎo)軌均采用質(zhì)量較好的器件,精度高,速度快。同時(shí)工作采用真空吸附,從而使工件裝卡方便,穩(wěn)定。這樣劃片加工成品率和精度高。
    控制面板人性化設(shè)計(jì),操作簡(jiǎn)單程序化,以免誤動(dòng)作觸發(fā)相關(guān)操作。
    固定光路,手動(dòng)調(diào)焦方式,紅光預(yù)覽+CCD圖象對(duì)位,定位準(zhǔn)確,設(shè)備運(yùn)行具保護(hù)功能,并符合行業(yè)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。

    適用范圍:
    能適應(yīng)單晶硅、多晶硅、非晶硅電池劃片和硅、鍺、砷化鎵半導(dǎo)體材料的劃片和切割。
    比如厚片(如AP公司0.7mm單晶硅多晶硅;1.2mm非晶硅帶等)。


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