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小坂KOSAKA微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)(臺(tái)階儀）

產(chǎn)品描述：

 

與AFM 的差異主要是觸針形狀不同，ET(俗稱Alpha-step)是R 2um/60度鉆石制、AFM 是蝕刻制，故幾乎無(wú)角度。也因此若純粹膜厚兩種都OK，差異是有些細(xì)微表面ET掉不進(jìn)去，故nm以下的表面粗度則以AFM為主。

主要特性

一. 再現(xiàn)性與線性度

再現(xiàn)性• • • 可達(dá)0.1nm

線性度• • •針對(duì)不同厚薄樣品，使用同一感度

二. 高解析度

高解析度• • •特別是針對(duì)thin film更佳

縱軸高解析度0.1nm

橫軸高解析度0.01um

可測(cè)定微細(xì)形狀

三. 低測(cè)定力

低測(cè)定力• • •效果可比擬非接觸

測(cè)定力10 ~ 500uN、1~50mgf 可任意設(shè)置

可測(cè)定軟質(zhì)材料面，如：ITO、COLOR FILTER、SPACER、PI…等

四. 超高真直度

超高真直度• • •可測(cè)定試片之長(zhǎng)距離測(cè)定

追溯性：通過(guò)認(rèn)證工廠，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，產(chǎn)品出廠皆檢附出廠校正報(bào)告

高機(jī)械真直度精度保證：

局部0.005um/5mm、全域0.2um/100mm可測(cè)定試片之長(zhǎng)距離測(cè)定,例如:平面度、波紋度、翹曲度、內(nèi)應(yīng)力等等

真直度保證• • •確保測(cè)定圖形不受影響

五. 即時(shí)監(jiān)控量測(cè)位置

即時(shí)監(jiān)控量測(cè)位置• • •可易辨認(rèn)微小樣品

配備標(biāo)準(zhǔn)CCD：即時(shí)監(jiān)控量測(cè)位置

可選購(gòu)TOPVIEWCCD，執(zhí)行高精度定位量測(cè)

六. 形狀及粗度解析

形狀及粗度解析

粗度規(guī)范對(duì)應(yīng)：可對(duì)應(yīng)各種新舊標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，測(cè)定參數(shù)多達(dá)60種

可測(cè)定段差及PITCH量測(cè)

七．可擴(kuò)充成三次元設(shè)備

形狀及粗度解析

粗度規(guī)范對(duì)應(yīng)：可對(duì)應(yīng)各種新舊標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，測(cè)定參數(shù)多達(dá)60種

可測(cè)定段差及PITCH量測(cè)

主要客戶

高校及研究單位:機(jī)械、材料、化學(xué)、

光電、校正中心。

民間企業(yè):光電(TFT、CF、STN、TP、

LED、OLED) and 半導(dǎo)體。

KOSAK ET 200主要規(guī)格：

技術(shù)參數(shù)：小坂KOSAKA微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)(臺(tái)階儀）

 

一、測(cè)定工件：

1. 大工件尺寸：φ160mm

2. 大工件厚度：50mm

3. 大工件重量：2kg

二、檢出器（pick up）：

1. Z方向測(cè)定範(fàn)圍：Max. 600μm

2. Z方向分解能：0.1nm

3. 測(cè)定力：min.1mgf,max.50mg

4. 觸針半徑：2 μm

5. 驅(qū)動(dòng)方式：直動(dòng)式

6. 再現(xiàn)性：1σ= 1nm

三、X 軸 (基準(zhǔn)軸)：

1. 移動(dòng)量(大測(cè)長(zhǎng))：100mm

2. 移動(dòng)的真直度：0.2μm/100mm

3. 移動(dòng),測(cè)定速度：0.02 ~ 10mm/s

4. 線性尺(linar scale)：分解能0.1μm

四、Z軸：

1. 移動(dòng)量：50mm

2. 移動(dòng)速度：max.2mm/S

3. 檢出器自動(dòng)停止機(jī)能

4. 位置決定分解能：0.2μm

五、工件臺(tái)：

1. 工件臺(tái)尺寸：φ160mm

2. 機(jī)械手動(dòng)傾斜： ± 1mm/150mm

六、工件觀察：

max.110 倍(可選購(gòu)其它高倍率CCD)

七、床臺(tái)：

材質(zhì)為花崗巖石

八、防振臺(tái)(選購(gòu))：

落地型或桌上型

九、電源：

AC100V±10%,50/60HZ, 300VA

十、本體外觀尺寸及重量：

W494×D458×H610mm, 120kg (不含防震臺(tái))

小坂KOSAKA微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)(臺(tái)階儀）