半導(dǎo)體晶圓激光切割設(shè)備
設(shè)備特點
機(jī)型特點
設(shè)備類型 | DSI9486 | DSI9286 | DSI9199 | DSI9386 | |
加工類型 | 皮秒改質(zhì)切割 | 納秒改質(zhì)切割 | 皮秒改質(zhì)切割 | 皮秒改質(zhì)切割 | |
切割尺寸 | 2″,4″,6″ | 2″,4″,6″,8″ | 2″,4″,6″ | 2″,4″,6″ | |
x軸(工作臺) | 切割范圍 | 180mm | 200mm | 180mm | 180mm |
切割速度 | 1000mm/s | 1000mm/s | 1000mm/s | 1000mm/s | |
Y軸(工作臺) | 切割范圍 | 180mm | 200mm | 180mm | 180mm |
Y軸重復(fù)精度 | 0.001mm | 0.001mm | 0.001mm | 0.001mm | |
Z軸 | 移動量分辨率 | 0.0001mm | 0.0001mm | 0.0001mm | 0.0001mm |
重復(fù)精度 | 0.001mm | 0.001mm | 0.001mm | 0.001mm | |
θ軸 | 定位精度 | 15 arc – sec | 15 arc – sec | 15 arc – sec | 15 arc – sec |
旋轉(zhuǎn)角度 | 210deg | 210deg | 210deg | 210deg | |
激光器類型 | 超快激光器 | 納秒非超快激光器 | 超快激光器 | 超快激光器 | |
其他參數(shù) | 自動化程度 | 全自動 | 全自動 | 全自動 | 全自動 |
控制系統(tǒng) | PC+PLC | PC+PLC | PC+PLC | PC+PLC | |
電力需求 | 220V/單相/50Hz/15A | 220V/單相/50Hz/15A | 220V/單相/50Hz/15A | 220V/單相/50Hz/15A | |
壓縮空氣 | 0.4~0.8MPa 壓縮空氣接口:Φ12mm | 0.4~0.8MPa 壓縮空氣接口:Φ12mm | 0.4~0.8MPa 壓縮空氣接口:Φ12mm | 0.4~0.8MPa 壓縮空氣接口:Φ12mm | |
環(huán)境溫度 | 20-25℃ | 20-25℃ | 20-25℃ | 20-25℃ | |
環(huán)境濕度 | 20%-60% | 20%-60% | 20%-60% | 20%-60% | |
加工材質(zhì) | 濾光片等玻璃材質(zhì) | 硅 | LED藍(lán)寶石 | 碳化硅 |