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    超精密加工機(jī)床的關(guān)鍵部件技術(shù)(二)2022/04/17
    4進(jìn)給與微量進(jìn)給系統(tǒng)進(jìn)給系統(tǒng)中常用的是各種進(jìn)給絲杠,在高精度加工機(jī)床中滾珠絲杠因其反向間隙小、傳動(dòng)效率高而廣泛的應(yīng)用。精度更高的靜壓絲杠和摩擦驅(qū)動(dòng)裝置也逐漸用于高精度加工機(jī)床。高精度加工機(jī)床的滾珠絲杠一般的精度等級(jí)為C0級(jí)。由于是閉環(huán)控制,利用高等級(jí)的滾珠絲杠,可獲得現(xiàn)行高水平0.01µm的定位精度。滾珠絲杠不需要靜壓絲杠所需的附屬裝置,是使用極為方便的絲杠。但作為亞微米級(jí)高精度加工機(jī)床的進(jìn)給絲杠須考慮到由于滾珠的轉(zhuǎn)動(dòng)和滾珠間的接觸滑動(dòng)有微小的振動(dòng)及與滑動(dòng)絲杠等相比較振動(dòng)衰減特性差等問(wèn)題。HCM
    高精度加工機(jī)床的關(guān)鍵部件技術(shù)(一)2022/04/17
    1引言高精度加工機(jī)床的研制開(kāi)發(fā)始于20世紀(jì)60年代。當(dāng)時(shí)在美國(guó)因開(kāi)發(fā)激光核聚變實(shí)驗(yàn)裝置和紅外線(xiàn)實(shí)驗(yàn)裝置需要大型金屬反射鏡,因而急需開(kāi)發(fā)制作反射鏡的高精度加工技術(shù)。以單點(diǎn)金剛石車(chē)刀鏡面切削鋁合金和無(wú)氧銅的高精度加工機(jī)床應(yīng)運(yùn)而生。1980年美國(guó)在世界上開(kāi)發(fā)了三坐標(biāo)控制的M-18AG非球面加工機(jī)床,它標(biāo)志著亞微米級(jí)高精度加工機(jī)床技術(shù)的成熟。日本的高精度加工機(jī)床的研制開(kāi)發(fā)滯后于美國(guó)20年。從1981~1982年首先開(kāi)發(fā)的是多棱體反射鏡加工機(jī)床,隨后是磁頭微細(xì)加工機(jī)床、磁盤(pán)端面車(chē)床,近來(lái)則是以非球面加工機(jī)
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