1.系統(tǒng)組成

該小型高純氣體氣驅(qū)增壓設備來用兩級增壓的工作方式，系統(tǒng)由控制部分和工作部分組成。工作部分可分為:低壓工作區(qū)、一-級高壓工作區(qū)和二級高壓工作區(qū),各工作區(qū)分別由氣缸體氣缸腔、活塞和密封組件等構(gòu)成，各工作區(qū)之間由驅(qū)動軸相連,以傳遞壓力和實現(xiàn)壓強的遞增。密封組件用以實現(xiàn)各工作區(qū)間的氣密和自潤滑功能;控制部分由驅(qū)動壓縮氣體自動換向機構(gòu)發(fā)熱部件冷卻系統(tǒng)、控制高壓缸排氣的單向氣閥等組成，主要實現(xiàn)設備的散熱降溫、往復換向、壓強控制和過壓保護,實現(xiàn)設備的安全可靠 連續(xù)增壓工作。

高純氣體增壓裝置

2.工藝流程

（1）一級增壓：增壓設備開始工作后,驅(qū)動壓縮氣體通過氣控閥進人低壓缸右氣腔,同時打開低壓缸左氣腔排氣口(此時該腔與大氣相通)。驅(qū)動壓縮氣體與空氣分別作用于低壓活塞兩側(cè),其壓強差會在活塞兩則產(chǎn)生壓力差，由于驅(qū)動壓縮氣體的壓強大于空氣的壓強,從而推動低壓活塞在低壓缸內(nèi)向左移動,并帶動驅(qū)動軸-起移動。與驅(qū)動軸相連的一級高壓活塞同時向左移動,致使一級高壓腔體積逐漸減小,腔內(nèi)的被增高純氣體壓強也逐漸增高,當其壓強高于設定值時，排氣單向閥打開，一級壓縮高純氣體進入二級高壓氣缸內(nèi),當?shù)蛪夯钊\行至左側(cè)時，一級增壓完成。換向機構(gòu)工作,開始二級增壓。

（2）二級增壓：驅(qū)動壓縮氣體在換向機構(gòu)的控制下自動換向,向低壓缸左腔內(nèi)充入驅(qū)動氣體,同時打開低壓缸右氣腔排氣口,此時右氣腔內(nèi)的做功后驅(qū)動壓縮氣體從進氣口排出，通過相應管路引至相關(guān)發(fā)熱部件和散熱翼板,對其進行散熱降溫。在驅(qū)動壓縮氣體作用下，低壓缸活塞帶動傳動軸向右運動,開始二級增壓。同時一級增壓缸進氣口打開，吸入被增壓高純氣體。當?shù)蛪焊谆钊\行至右端時,二級增壓結(jié)束完成-一個工作循環(huán)。

（3）連續(xù)功能實現(xiàn)：在驅(qū)動壓縮氣體自動換向機構(gòu)和控制高壓氣缸排氣的單向氣閥的聯(lián)合控制下，增壓設備的低壓活塞帶動傳動軸,能夠?qū)崿F(xiàn)自動換向、連續(xù)往復運動,從而實現(xiàn)額定高壓高純氣體的連續(xù)輸出,滿足用戶需求。

（4）壓強控制和過壓保護：設備具有輸出氣體壓強控制和系統(tǒng)過壓保護功能。當高壓氣體儲氣罐或其他用氣設備氣體壓強達到設定值后,控制二級高壓氣缸排氣的單向氣閥將輸氣管路切斷，停止供氣。當設備停機時，單向氣閥同樣可將輸氣管路切斷，防止高壓氣體儲氣罐等向設備反向供氣。當由于特殊情況造成設備系統(tǒng)壓強超過規(guī)定值過壓保護裝置即關(guān)閉氣控閥,停止驅(qū)動壓縮氣體的輸人，防止繼續(xù)增壓出現(xiàn)故障和事故。

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