平面磨床工作臺有爬行或速度超差的故障原因及排除方法如下：
　　
　　（1）精密平面磨床的液壓缸、活塞桿上側(cè)母線與床身導(dǎo)軌、工作臺導(dǎo)軌的平行度超差。應(yīng)按裝配要求校正液壓缸、活塞桿上側(cè)母線與床身、工作臺導(dǎo)軌的平行度誤差。
　　
　　（2）液壓缸磨損變形。應(yīng)珩磨修復(fù)或更換液壓缸。
　　
　　（3）床身、工作臺導(dǎo)軌磨損或配刮接觸點不均勻，接觸點數(shù)過少。應(yīng)檢查床身，工作臺導(dǎo)軌的接觸點及表面粗糙度，要求：刮削接觸點＞16點/（25mm×25mm），表面粗糙度值達Ra1.6μm。
　　
　　（4）活塞與液壓缸間隙過大，有滲漏。應(yīng)配作活塞，要求與液壓缸間隙在0.04~0.06mm之間。
　　
　　（5）換向閥磨損，有泄漏。應(yīng)檢查換向閥、閥孔的磨損，作相應(yīng)的修復(fù)或更換。
　　
　　（6）液壓系統(tǒng)內(nèi)進入空氣。應(yīng)排除系統(tǒng)內(nèi)的空氣，各管接頭處避免空氣進入。