三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是60年代后期發(fā)展起來(lái)的一種高效的新型精良測(cè)量設(shè)備，目前被廣泛應(yīng)用于機(jī)械、電子、汽車、飛機(jī)等工業(yè)部門，它不僅用于測(cè)量各種機(jī)械零件、模具等的形狀尺寸、孔位、孔中心距以及各種形狀的輪廓，特別適用于測(cè)量帶有空間曲面的工件。由于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)具有高準(zhǔn)確度、高效率、測(cè)量范圍大的點(diǎn)，已成為幾何量測(cè)量?jī)x器的一個(gè)主要發(fā)展方向。
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)量過程,是由測(cè)頭通過三個(gè)坐標(biāo)軸導(dǎo)軌在三個(gè)空間方向自由移動(dòng)實(shí)現(xiàn)的，在測(cè)量范圍內(nèi)可到達(dá)任意一個(gè)測(cè)點(diǎn)。三個(gè)軸的測(cè)量系統(tǒng)可以測(cè)出測(cè)點(diǎn)在X，Y，Z三個(gè)方向上的準(zhǔn)確坐標(biāo)位置。根據(jù)被測(cè)幾何型面上若干個(gè)測(cè)點(diǎn)的坐標(biāo)值即可計(jì)算出待測(cè)的幾何尺寸和形位誤差。另外，在測(cè)量工作臺(tái)上，還可以配置繞Z 軸旋轉(zhuǎn)的分度轉(zhuǎn)臺(tái)和繞X 軸旋轉(zhuǎn)的帶尖座的分度頭，以方便螺紋、齒輪、凸輪等的測(cè)量。
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)按其精度分為兩大類：
精密型都可以測(cè)量機(jī)（UMM）：是一種計(jì)量型三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，其精度可以達(dá)到1.5 ?m+2L/1000，一般放在有恒溫條件的計(jì)量室內(nèi)，用于精密測(cè)量，分辨率為0.5?m，1或2?m，也有達(dá)0.2?m或0.1?m的。
生產(chǎn)型測(cè)量機(jī)（CMM）：一般放在生產(chǎn)車間，用于生產(chǎn)過程的檢測(cè)，并可進(jìn)行末道工序的精加工，分辨率為5?m或10?m，小型生產(chǎn)型測(cè)量機(jī)也有1?m或2?m的。
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的結(jié)構(gòu)形式分類

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)系統(tǒng)的硬件構(gòu)成和功能
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)系統(tǒng)的硬件主要有三部分組成：
⑴ 終控制計(jì)算機(jī)和打印機(jī)：在三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)系統(tǒng)的硬件結(jié)構(gòu)中，計(jì)算機(jī)是整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的管理者。計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)與操作者對(duì)話、控制程序的執(zhí)行和結(jié)果處理、與外設(shè)的通訊等功能。
⑵ 數(shù)控設(shè)備及其外設(shè)：數(shù)控設(shè)備是計(jì)算機(jī)和測(cè)量機(jī)的接口（I/O，工具信號(hào)，緊急情況等）。數(shù)控設(shè)備通過由計(jì)算機(jī)傳來(lái)的數(shù)據(jù)計(jì)算出參考路徑，不斷地控制測(cè)量機(jī)的運(yùn)動(dòng)及與手提式控制盒的通訊。
⑶ 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)：三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的主體主要由以下各部分組成：底座、測(cè)量工作臺(tái)、立柱、X向支撐梁和導(dǎo)軌、Y向支撐梁和導(dǎo)軌、Z軸部件、測(cè)頭、驅(qū)動(dòng)電機(jī)及測(cè)長(zhǎng)系統(tǒng)。其結(jié)構(gòu)形式（總體布局形式）主要取決于三組坐標(biāo)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)方式，它對(duì)測(cè)量機(jī)的精度和適用性影響很大.